利用水蒸氣能吸收某波段的紅外線制成的濕度傳感器。60年代中期，美國氣象局以波長為1.37微米和1.25微米的紅外光分別作敏感光束和參考光束，研制成紅外線吸收式濕度傳感器。這種傳感器采用裝有λ0濾光片和λ 濾光片的旋轉濾光片，當光源通過旋轉濾光片時，輪流地選擇波長為λ0和λ 的紅外光束,兩條光束通過被測濕度的樣氣抵達光敏元件,由于波長為λ0的光束不被水蒸氣吸收，其光強仍為I0，波長為λ的光束被水蒸氣部分吸收，光強衰減為I（圖5）。采用朗伯－貝爾法測量： 式中I0為光源光強度，I為光敏元件處的光強度，ε為吸收系數,c為待測含水蒸氣的濃度,l為光路長度。根據光強度的變化，將光敏元件上的信號處理后可獲得正比于水蒸氣濃度 c的電信號。紅外線吸收式濕度傳感器屬非水分子親和力型濕敏元件，測量精度和靈敏度較高，能夠測量高溫或密封場所的氣體濕度，也能解決其他濕度傳感器不能解決的大風速或通風孔道環境中的濕度測量問題。缺點是結構復雜，光路系統存在溫度漂移現象。