有機發光二極管(OLED)是一種自身發光的固體材料。OLED顯示板，分辨率達到800×600像素，亮度為300cd/m2，并且具有寬視角、高對比度及快速響應的性能。　　

??????? OLED技術與產品的發展在很大程度上取決于制作材料的性能，新材料的開發是研制高性能OLED的基礎。最近開發出引人注目的新型多聚物系統和透明導電膜。

　　1 新型多聚物材料

　　用于OLED的多聚物材料為發光多聚物(LEP)。對于OLED用LEP材料的主要技術要求：在低電壓下具有較高亮度和光效，較長的使用壽命以及穩定的電壓-時間特性。這樣能夠使OLED以低電壓驅動，降低成本和功耗。

　　近年來，英國劍橋顯示技術(CDT)公司研制出一種滿足這種技術要求的CDT黃001的OLED材料，其色座標為(0.45，0.54)。涂有CDT黃001材料的OLED工藝流程為：①在玻璃基底上制作半透明氧化銦錫(ITO)陽極;②清洗基底，以氧等離子體處理基底，確保空穴轉移層的濕化;③在基底上沉積含水空穴轉移層，該層的最佳厚度為50nm;④對空穴轉移層進行干燥;⑤以旋涂法在完成上述各步的基底上涂CDT黃001材料;⑥通過真空負載固定，將基底移入可移動套箱?⑦蒸鍍法制作鈣陰極，制作環境壓強為8×10-7Pa;③在以上基礎上蒸鋁，以減少陰極電阻，保護鈣層;⑨以環氧樹脂將完成前述各步的器件密封。

　　CDT公司對其所制作的OLED進行了測量。圖1是作為驅動電壓函數的OLED電流密度(實線)與亮度(虛線)特性曲線，表1是該公司OLED產品的驅動電壓與亮度值。圖2是該產品作為偏壓函數的光效。從圖2可看出，在2.2～4.5V范圍內，光效變化相對平緩;而在較高電壓下，光效衰減較為顯著。圖3是CDT公司OLED的壽命特性曲線，它是在80℃溫度下，以恒定電流驅動OLED得到的結果。器件的初始亮度為100cd/m2;在驅動電壓為2.05V數小時后，亮度衰減為85cd/m2，亮度降為初始值一半約需900h，反映出該產品在高溫下保持良好壽命與電壓穩定性，是較為理想的有源矩陣OLED材料，這種OLED發黃色光。

　　2 氧化鋁鋅(AZO)透明導電薄膜

　　OLED的基本結構為夾層式，即在兩電極間注入一層或多層有機材料膜層。OLED上有一層透明導電薄膜電極層。在許多平板顯示器件中，通常以氧化銦錫(ITO)作為透明薄膜。因為ITO薄膜具有高導電率和可見光透射性，并有足夠的空穴注入高逸出功。但是ITO薄膜與易彎曲的多聚物基底匹配不如與玻璃的匹配。若以玻璃為基底制作OLED就會使其失去易彎曲及重量輕的優點，為此新近開發出AZO薄膜。

　　2.1 AZO薄膜的制作

　　目前開發的AZO膜制作方法主要有反應蒸鍍法與射頻(rf)濺射法兩種。

　　反應蒸鍍法中，蒸鍍室內的氧分壓范圍為4×10-3～4×10-2Pa，被蒸鍍的基底是經過超聲波清洗的玻璃或聚合物材料。基底被置于蒸鍍源的上方，并在蒸鍍前加熱到理想的溫度。

　　射頻濺射法是以燒結的磁靶為濺射源，其成分為含3%Al2O3(質量)的ZnO材料，靶與基底的間距為4cm，濺射使用的介質氣體為壓強1Pa的氬，濺射功率為100W。

　　上述兩種方法制取AZO薄膜的工藝流程類似于ITO薄膜的制備，在此不再贅述。

　　2.2 制作具有AZO薄膜的OLED

　　制取OLED所用發射材料為有機共軛多聚物1.4-苯乙烯(PPV)、多聚物n-乙烯基氮雜茍(PVK)和三聚(8羥基喹啉)鋁(Alq3)，制作具有AZO膜和PPV材料的OLED的程序為：①對制有AZO膜的玻璃或塑料基底進行刻蝕;③清洗刻蝕過的基底;③在清洗過基底的AZO層上以旋涂法涂敷PPV材料;④在lx10-3Pa的真空條件下，以250℃溫度對完成上述步驟的OLED加熱3h，進行老煉。

　　以PVK及Alq3材料制備具有AZO薄膜的OLED主要工藝步驟：①在l×10-3Pa的真空條件下，以熱蒸鍍法制備Alq3粉;②將Alq3粉壓制成塊;③以旋涂法在制有AZO膜的基底上涂敷PVK層;④濺射Alq3層;⑤在l×10-3Pa下蒸鋁。

　　2.3具有AZO薄膜的OLED性能

　　對具有Al/Alq3/PVK/AZO結構的兩種OLED進行了性能測量。為了便于比較，還測量了Al/Aq2/PVK/ITO結構的OLED的性能。在上述被測OLED中，有機材料層的厚度范圍為80～120nm，鋁層厚度約為200nm。

　　從測量結果可知，具有AZO薄膜的OLED性能與具有ITO薄膜的類似，故AZO薄膜能替代ITO薄膜，從而制出可卷曲的平板顯示器件OLED。

　　3.結束語

　　OLED雖然問世不長，但發展速度很快。更高性能OLED乃至OLED屏可卷曲電視的問世并實現商品化生產也是可以預期的。