射穎（Radio Frequency， RF） 無線電波是一種可以輻射到空間的高頻交變電磁波。集成電路設備中所使用的射頻電源的頻率范圍300kHz~300MHz。射頻電源是等離子體發生器的配套電源，主要用于在低壓或常壓氣氛中產生等離子體，在集成電路制造工藝中被廣泛應用于射頻濺射、PECVD、等離子體刻蝕及其他工藝領域。

由于不同氣體的等離子體具有不同的化學性能，因而常被應用于不同的工藝設備。例如，氧氣的等離子體具有很高的氧化性。可與光刻膠發生氧化反應生成氣體。從而達到清洗的效果，因此常用于半導體設備中的去膠機；腐蝕性氣體的等離子體具有很好的各向異性，十分符合刻蝕工藝的需求，因而常應用于等離子刻蝕機。

常用的射頻電源的輸出頻率有2MHz、13. 56MHz、27. 12MHz、40. 68MHz、60MH等，射頻功率為數瓦至數千瓦。圖8-245所示為目前較為先進的開關型固態射頻電源原理示意圖。其特點是，通過高頻（100kHz） 開關整流電路的集成應用，省去了笨重且體積龐大的工頻變壓器，并為射頻驅動回路提供驅動電力；與傳統的線性射頻電源相比，具有低電力損耗、低存儲能量、系統體積小型化的特點，因而非常適用于半導體薄膜設備及工業鍍膜設備的等離子真空工藝。

目前我國先進的等離子體設備使用的射頻電源，與國外同類電源相比還存在一定差距，要超趕上國際水平，還需要做很多工作：

1）目前我國的射頻電源采用大多是電子管或電子管、晶體管混合電路，體積較大，限制了它的應用。并且使用的晶體管大多為國外進口，因此，需要研制我國自主核心的晶體管，研制新技術、新元器件，使射頻電源小型化2）目前我國使用的還是阻抗手動匹配器，容易受環境因素的影響，而國外已開始使用阻抗自動匹配器，在工業自動化領域發揮著重要的作用，因此，高精度、高速度的阻抗自動匹配器是未來發展的必然趨勢。3）與國外射頻電源相比，我國射頻電源種類較為單一，今后還應該進行寬頻帶電源、微波電源、高功率射頻電源等不同類型射頻電源的研制。根據QYR（恒州博智）的統計及預測，2022年全球半導體射頻電源市場銷售額達到了7.26億美元，預計2029年將達到14.57億美元，年復合增長率（CAGR）為11.18%（2023-2029）。地區層面來看，中國市場（含臺灣地區）在過去幾年變化較快，2022年市場規模為96.6百萬美元，約占全球的13.31%，預計2029年將達到188.52百萬美元，屆時全球占比為12.94%。

生產端來看，北美和日本是兩個重要的生產地區，2022年分別占有36.04%和23.17%的市場份額，預計未來幾年，中國地區將保持最快增速，預計2029年份額將達到11.71%。從產品產品類型方面來看，13.56MHz占有重要地位，預計2029年份額將達到32.1%，其次是27.12Mhz類型。同時就應用來看，蝕刻在2022年份額大約是36.56%，未來幾年CAGR大約為11.09%。從生產商來說，全球范圍內，半導體射頻電源核心廠商主要包括萬機儀器、美國優儀（AE）、日本大阪變壓器株式會社、XP Power和通快等。2022年，全球第一梯隊廠商主要有萬機儀器、美國優儀（AE）、日本大阪變壓器株式會社，第一梯隊占有大約52.95%的市場份額；第二梯隊廠商有通快、康姆艾德、京三制作所、北廣科技、愛發科、日本電子株式會社、Adtec Plasma Technology、New Power Plasma等，共占有33.99%份額。

編輯：黃飛