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      標簽　>　刻蝕工藝

      刻蝕工藝

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      刻蝕工藝技術

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      2020-10-09 標簽：刻蝕工藝 1.5萬 0

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      2023-06-20 標簽：半導體晶圓蝕刻 1.2萬 0

      晶圓級封裝工藝：濺射工藝和電鍍工藝

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      濺射是一種在晶圓表面形成金屬薄膜的物理氣相沉積(PVD)6工藝。如果晶圓上形成的金屬薄膜低于倒片封裝中的凸點，則被稱為凸點下金屬層(UBM，Under ...

      2023-10-20 標簽：半導體晶圓封裝工藝 1.0萬 0

      半導體制造之刻蝕工藝詳解

      半導體制造之刻蝕工藝詳解

      單晶硅刻蝕用來形成相鄰晶體管間的絕緣區，多晶硅刻蝕用于形成柵極和局部連線。

      2023-02-13 標簽：多晶硅半導體晶體管 9986 0

      半導體制造技術之刻蝕工藝

      W刻蝕工藝中使用SF6作為主刻步氣體，并通過加入N2以增加對光刻膠的選擇比，加入O2減少碳沉積。在W回刻工藝中分為兩步，第一步是快速均勻地刻掉大部分W，...

      2023-12-06 標簽：半導體制造技術刻蝕工藝 7755 0

      刻蝕工藝主要分為哪幾種類型 刻蝕的目的是什么？

      PVP可以在刻蝕過程中形成一層保護性的膜，降低刻蝕劑對所需刻蝕材料的腐蝕作用。它可以填充材料表面的裂縫、孔洞和微小空隙，并防止刻蝕劑侵入。這樣可以減少不...

      2023-08-17 標簽：芯片封裝半導體器件刻蝕 6503 0

      半導體制造工藝最強科普

      半導體產業中，制造工工程被稱為工藝（Process），理由是什么？雖然沒有明確的答案，但與其說加工尺寸微小（目前是nm制程），不如說制造過程無法用肉眼看到所致。

      2023-02-21 標簽：半導體晶圓制造工藝 4568 0

      玻璃通孔工藝(TGV)簡介

      玻璃通孔工藝(TGV)簡介

      硅基轉接板2.5 D集成技術作為先進的系統集成技術，近年來得到迅猛的發展。但硅基轉接板存在兩個的主要問題。

      2023-05-06 標簽：半導體嵌入式濾波器 4227 0

      多晶硅蝕刻工藝講解

      下圖顯示了Intel的第6代晶體管（6T）SRAM尺寸縮小時間表，以及多晶硅柵刻蝕技術后從90nm到22nm技術節點6TSRAM單元的SEM圖像俯視視圖...

      2023-04-03 標簽：多晶硅MOSFETsram 4139 0

      半導體行業之刻蝕工藝

      等離子體圖形化刻蝕過程中，刻蝕圖形將影響刻蝕速率和刻蝕輪廓，稱為負載效應。負載效應有兩種:宏觀負載效應和微觀負載效應。

      2023-02-08 標簽：半導體晶圓刻蝕 4007 0

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      刻蝕工藝帖子

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      刻蝕工藝資訊

      上腔室窗口溫度對STI刻蝕工藝的影響

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      本文在淺溝槽隔離刻蝕過程中發現，當刻蝕腔室上石英窗口的溫度超過85℃時，刻蝕終止出現在300mm晶圓的中心。我們認為刻蝕終止的原因是由于某些低揮發SiO...

      2012-05-04 標簽：STI刻蝕工藝 3438 0

      一種簡單的原沸石晶種合成單晶分級ZSM-5沸石

      原沸石是非結晶的，如粉末 X 射線衍射 (XRD) 圖案所示。掃描電子顯微鏡 (SEM) 和透射電子顯微鏡 (TEM) 圖像顯示，原沸石是大小約為5-2...

      2022-08-17 標簽：單晶催化劑刻蝕工藝 2691 0

      泛林集團推開創性的選擇性刻蝕解決方案 加速實現3D

      泛林集團推開創性的選擇性刻蝕解決方案 加速實現3D

      通過與客戶、技術專家和產品團隊的合作，他們已經在選擇性刻蝕創新方面實現突破，這將使世界領先的芯片制造商得以提供下一代3D邏輯和存儲設備。

      2022-03-22 標簽：刻蝕刻蝕工藝泛林集團 2161 0

      中國研發團隊在SOT-MRAM取得重要進展

      據“中科院微電子研究所”消息，為了更好地解決SOT-MRAM的刻蝕技術難題以實現SOT-MTJ的高密度片上集成，同時研究不同的刻蝕工藝對器件磁電特性的影...

      2023-03-10 標簽：集成電路半導體刻蝕工藝 1044 0

      關于光刻膠溶解過程中表面粗糙度的變化研究報告

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      摘要 圖案圖像中納米級粗糙度的最小化已成為微處理器生產中光刻過程的優先事項。為了探究表面粗糙度的分子基礎，通過將臨界電離模型應用于聚合物基體的三維分子晶...

      2022-01-25 標簽：刻蝕工藝光刻蝕 907 0

      濕法刻蝕步驟有哪些

      說到濕法刻蝕了，這個是專業的技術。我們也得用專業的內容才能給大家講解。聽到這個工藝的話，最專業的一定就是講述濕法刻蝕步驟。你知道其中都有哪些步驟嗎？如果...

      2024-12-13 標簽：刻蝕設備刻蝕工藝刻蝕機 219 0

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      刻蝕工藝數據手冊

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