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標簽 > 刻蝕工藝
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深反應離子刻蝕工藝,是實現高深寬比特性的重要方式,已成為微加工技術的基石。這項刻蝕技術在眾多領域均得到了應用:1)MEMS電容式慣性傳感器;2) 宏觀設...
2020-10-09 標簽:刻蝕工藝 1.5萬 0
W刻蝕工藝中使用SF6作為主刻步氣體,并通過加入N2以增加對光刻膠的選擇比,加入O2減少碳沉積。在W回刻工藝中分為兩步,第一步是快速均勻地刻掉大部分W,...
PVP可以在刻蝕過程中形成一層保護性的膜,降低刻蝕劑對所需刻蝕材料的腐蝕作用。它可以填充材料表面的裂縫、孔洞和微小空隙,并防止刻蝕劑侵入。這樣可以減少不...
半導體產業中,制造工工程被稱為工藝(Process),理由是什么?雖然沒有明確的答案,但與其說加工尺寸微小(目前是nm制程),不如說制造過程無法用肉眼看到所致。
下圖顯示了Intel的第6代晶體管(6T)SRAM尺寸縮小時間表,以及多晶硅柵刻蝕技術后從90nm到22nm技術節點6TSRAM單元的SEM圖像俯視視圖...
原沸石是非結晶的,如粉末 X 射線衍射 (XRD) 圖案所示。掃描電子顯微鏡 (SEM) 和透射電子顯微鏡 (TEM) 圖像顯示,原沸石是大小約為5-2...
據“中科院微電子研究所”消息,為了更好地解決SOT-MRAM的刻蝕技術難題以實現SOT-MTJ的高密度片上集成,同時研究不同的刻蝕工藝對器件磁電特性的影...
說到濕法刻蝕了,這個是專業的技術。我們也得用專業的內容才能給大家講解。聽到這個工藝的話,最專業的一定就是講述濕法刻蝕步驟。你知道其中都有哪些步驟嗎?如果...
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