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一種硅微諧振式壓力傳感器的敏感膜片設(shè)計

2010-10-14 | rar | 480 | 次下載 | 3積分

資料介紹

根據(jù)正方形膜片的變形和應(yīng)力分布情況,提出了一種硅微諧振式壓力傳感器敏感膜片的設(shè)計方法,設(shè)計了兩種正方
形間接連接式壓力敏感膜片.在相同的膜片面積下,新膜片與原有矩形間接連接式壓力敏感膜片性能相近,為內(nèi)部諧振器
多樣化提供了基礎(chǔ).最后,就壓力敏感膜片的工藝設(shè)計進(jìn)行了探討,認(rèn)為采用正方形凸角補(bǔ)償結(jié)構(gòu)的(110>硅島和采用邊長補(bǔ)
償?shù)?100>硅島最適合間接連接式壓力敏感膜片.
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