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介紹了一種特殊結構的電容式力傳感器。從結構設計、工作原理、電路設計對該電容式力傳感器進行了分析、論述。并且提供了相應的實驗數據。傳感器非線性誤差小于1 %。
關鍵詞: 電容式力傳感器; 結構; 頻率變化量
Abstract : The specific structure capacitive force sensor ,principle and circuit design are introduced , the related experiment data is given out . The linear distortion of sensor is smaller than 1 %.
Key words : capacitive force sensor ; structure ; frequency variation
關鍵詞: 電容式力傳感器; 結構; 頻率變化量
Abstract : The specific structure capacitive force sensor ,principle and circuit design are introduced , the related experiment data is given out . The linear distortion of sensor is smaller than 1 %.
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