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電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>模擬數字論文>基于AIGaN/GaN型結構的氣敏傳感器對于CO的傳感性

基于AIGaN/GaN型結構的氣敏傳感器對于CO的傳感性

2023-09-01 | pdf | 0.71 MB | 次下載 | 免費

資料介紹

摘要:研究了基于AlGaN/GaN型結構的氣敏傳感器對于CO的傳感性.制備出AlGaN/GaN型氣敏傳感器器件,并測試得到了器件在50℃時對于不同濃度(1%,9000,8000,5000和1000ppm)的CO的響應情況;測試并分析了1%CO在50和100℃下響應度的差異,計算了通入1%CO前后器件的肖特基勢壘高度的變化和靈敏度隨電壓的分布關系.結果表明,器件的靈敏度強烈依賴于器件的工作溫度和通入的氣體濃度,隨著溫度和濃度的增加,器件的靈敏度呈單調增加,器件在100℃空氣氣氛中表現出了良好恢復性能.

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