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高壓LDMOS場極板的分析與設(shè)計(jì)

2011-12-01 | pdf | 217 KB | 次下載 | 免費(fèi)

資料介紹

場板是高壓LDMOS中普遍使用的一種結(jié)終端技術(shù),對單階梯LDMOS場板的長度、其下方氧化 厚度以及場氧侵蝕厚度等參數(shù)進(jìn)行了模擬和分析, 在此基礎(chǔ)上設(shè)計(jì)了一種新型體硅雙階梯場板LDMOS,并對其具體參數(shù)進(jìn)行了細(xì)致的模擬和分析。模擬結(jié)果表明, 雙階梯場板LDMOS的擊穿電壓比單階梯場板LDMOS提高了l 5.3%,導(dǎo)通電阻降低了l 7.1% ,電流驅(qū)動(dòng)能力也提高了8.5% 。

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