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電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>機電一體化技術論文>等離子體源離子注入技術及其應用

等離子體源離子注入技術及其應用

2011-05-22 | pdf | 151 KB | 次下載 | 免費

資料介紹

離子注八材料表面陡性技術, 是材料科學發展的一個重要方面。文中概述7等離子體源離子注八技術的特點 基皋原理 應用效果。取覆等離子體源離子注八技術的發展趨勢。例如, 除7在金屬合金方面取得根好效果外。在半導體器件上也取得了意外的效果。此外,開展復合表面改性層的研究也取得了重要進展。

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