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成門極換流晶閘管(IGCT)的光刻技術(shù)的設(shè)計工藝研究

2010-06-24 | rar | 206 | 次下載 | 3積分

資料介紹

主要介紹了集成門極換流晶閘管(IGCT)的光刻技術(shù)。IGCT器件的光刻次數(shù)多,精
度要求高,如何保證光刻質(zhì)量是關(guān)鍵。根據(jù)IGCT光刻的特點,從光刻機(jī)的性能、光刻膠的選用
以及刻蝕工藝改進(jìn)著手,進(jìn)行了大量的研究工作,較好地保證了IGCT的光刻質(zhì)量,使芯片梳條
廢條率低于萬分之二,促成了IGCT器件的研制成功。
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