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中國集成電路裝備制造業自主創新戰略:集成電路（IC）裝備業已成為高技術裝備產業的典型代表。中國正在成為世界IC 制造業的重要區域，同時也將成為IC 裝備商爭勝的焦點。相對于IC 制造業，我國的IC 制裝備制造業無論從生產規模、研發水平、投資強度以及人才聚集等方面都還存在著很大的差距，尚未形成可以支撐自身可持續發展的產業規模。面對強勁的市場和產業發展需求，建立健康的IC 裝備制造業，開發關鍵IC 制造裝備和具有自主知識產權的先進工藝，形成具有自主發展能力和核心競爭力的產業鏈，實現可持續健康發展，已成為我國IC 產業亟待解決的一項具有全局性和戰略性意義的核心問題。在近期頒布的國家中長期科技發展規劃中，IC 制造裝備與成套工藝已經列為重大專項，充分顯示了中國政府對這一戰略意義的認識和決心。
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