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電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>絕緣資料|化工資料>采用光電技術(shù)測量微細(xì)線寬的探討

采用光電技術(shù)測量微細(xì)線寬的探討

2009-06-26 | rar | 141 | 次下載 | 10積分

資料介紹

在顯微物鏡的成象光路中, 增加一塊振蕩反射鏡, 使被測縵寬的放大象相對窄縫描, 將光學(xué)邊界信息轉(zhuǎn)變?yōu)樘菪坞娒}沖。經(jīng)過電路處理。得到兩個史彤電脈沖。填充高頻矩形脈沖測量兩尖彤脈沖之間的時間問膈, 進(jìn)而求得被劃線寬的寬度。推導(dǎo)7被測線寬與光學(xué)性能參數(shù), 結(jié)構(gòu)參數(shù), 振蕩鰒率瞳及高額矩井;睬沖數(shù)之問的函數(shù)關(guān)系式。根據(jù)顯徽鏡的基本性能, 分析 影響測量誤差的各種因素, 并進(jìn)行實倒計算。最后提出一個框圖, 說明線寬測量儀系兢中各功能之問的關(guān)系。

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