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電子發燒友網>電子資料下載>課件下載>集成電路工藝技術講座-離子注入(Ion implantation)

集成電路工藝技術講座-離子注入(Ion implantation)

2011-05-22 | ppt | 4.02 MB | 次下載 | 免費

資料介紹

半導體工藝中應用的離子注入是將高能量的雜質離子導入到半導體晶體,以改變半導體,尤其是表面層的電學性質.
注入一般在50-500kev能量下進行

離子注入的優點
注入雜質不受材料溶解度,擴散系數,化學結合力的限制,原則上對各種材料都可摻雜
可精確控制能量和劑量,從而精確控制摻雜量和深度
較小的恒向擴散
摻雜均勻性好,電阻率均勻性可達1%
純度高,不受所用化學品純度影響
可在較低溫度下摻雜

目錄:
射程和分布
溝道效應
損傷和退火
離子注入機
離子注入的應用
離子注入工藝模擬

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