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電子發燒友網>電子資料下載>電子資料>中圖儀器全自動晶圓檢測機輕松測量wafer套刻偏移量

中圖儀器全自動晶圓檢測機輕松測量wafer套刻偏移量

2022-04-20 | pdf | 0.47 MB | 次下載 | 免費

資料介紹

中圖儀器全自動晶圓檢測機可對Wafer的關鍵尺寸進行檢測,對套刻偏移量的測量,以及Wafer表面3D形貌、粗糙度的測量,包括鐳射切割的槽寬、槽深等自動測量。300*300mm真空吸附平臺,最大可支持12寸Wafer的自動測量,配置掃描槍,可實現產線的全自動化生產需求。

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