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電子發燒友網>電子資料下載>電子資料>厚硅片的高速激光切片研究

厚硅片的高速激光切片研究

2021-04-09 | rar | 0.91 MB | 次下載 | 免費

資料介紹

  基于激光切片原理的分析,給出了厚硅片的高速激光切片方法,采用平凸腔補償工作物質的熱透鏡效應,利用 Nd∶YAG棒本身的自孔徑選模作用,獲得了光束質量因子 犕2 等于4.19的50W1.064μm 激光輸出。選取合適的擴束倍數、重復頻率和出氣孔直徑,當切割0.75mm 厚的硅片時,切片速度達400mm/min;當切割兩層疊放的0.75mm 厚的硅片時,切片速度達到100mm/min。切片的切口光滑,切縫較窄,重復精度高,切片質量好,達到用傳統方法難以達到的切片效果。

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