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電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子資料>MEMS陀螺儀的工作原理詳細(xì)概述

MEMS陀螺儀的工作原理詳細(xì)概述

2020-12-30 | pdf | 0.27 MB | 次下載 | 5積分

資料介紹

  陀螺儀是用來測量角速率的器件,在加速度功能基礎(chǔ)上,可以進(jìn)一步發(fā)展,構(gòu)建陀螺儀。陀螺儀的內(nèi)部原理是這樣的:對固定指施加電壓,并交替改變電壓,讓一個(gè)質(zhì)量塊做振蕩式來回運(yùn)動(dòng),當(dāng)旋轉(zhuǎn)時(shí),會(huì)產(chǎn)生科里奧利加速度,此時(shí)就可以對其進(jìn)行測量;這有點(diǎn)類似于加速度計(jì),解碼方法大致相同,都會(huì)用到放大器

  角速率由科氏加速度測量結(jié)果決定 - 科氏加速度 = 2 × (w × 質(zhì)量塊速度) - w 是施加的角速率(w = 2 πf) 通過 14 kHz 共振結(jié)構(gòu)施加的速度(周期性運(yùn)動(dòng))快速耦合到加速度計(jì)框架 - 科氏加速度與諧振器具有相同的頻率和相位,因此可以抵消低速外部振動(dòng)該機(jī)械系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)與加速度計(jì)相似(微加工多晶硅)信號調(diào)理(電壓轉(zhuǎn)換偏移)采用與加速度計(jì)類似的技術(shù)施加變化的電壓來回移動(dòng)器件,此時(shí)器件只有水平運(yùn)動(dòng)沒有垂直運(yùn)動(dòng)。如果施加旋轉(zhuǎn),可以看到器件會(huì)上下移動(dòng),外部指將感知該運(yùn)動(dòng),從而就能拾取到與旋轉(zhuǎn)相關(guān)的信號。

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