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該作動(dòng)器利用梁的面內(nèi)二階彎振和面外二階彎振作為工作模態(tài),以 鋸齒波作為激勵(lì)電信號(hào),依靠轉(zhuǎn)子的慣性力,克服滑動(dòng)摩擦力驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)子繞 Z 軸和 a, β,γ軸旋轉(zhuǎn)。分析了慣性式多自由度壓電作動(dòng)器的驅(qū)動(dòng)機(jī)理,并利用 ComsolMultiphysics5.3a 對(duì)壓電振子進(jìn)行了分析,確定了壓電振子的工作模態(tài)。 測(cè)試目的：提出了一種慣性式多自由度壓電作動(dòng)器,可以極大地縮小現(xiàn)有多自 由度壓電作動(dòng)器的體積，提高作動(dòng)器整體的結(jié)構(gòu)緊湊性。
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