電子發燒友App
創作
發文章
發帖 
提問 
發資料
發視頻資料介紹
本文前面銜接《淺談12吋晶圓集成電路芯片制程（工藝與工序）前端FEOL之二》
8 ）多層金屬互聯與銅雙大馬士革工藝
8.1 局部互聯二氧化硅介質制作：用LPCVD淀積一層氮化硅作為阻擋層（保護有源區使之與硼磷硅玻璃淀積層隔離）。
8.2 LPCVD淀積二氧化硅同時輕摻雜硼和磷，形成硼磷硅玻璃。（摻磷防止鈉離子等可動電荷沾污，摻硼是玻璃層在較低溫度具有流動性增加平坦性）之后再淀積不摻雜的二氧化硅。之后RTP使玻璃層更平坦。
化學機械拋光CMP之后，氧化層保留0.8μm.
工藝過程流到這里陸續經過氧化層生長、淀積多層薄膜、光刻刻蝕等，晶圓表面出現大量高低不平的“地形”，而***的景深有限，形成高分辨率精細線條受到威脅。此外金屬布線在臺階處會變薄甚至斷裂。導致失效或可靠性低。為此晶圓要在圖26之后面進行CMP平坦化加工。接下來光刻確定第一層金屬布線與下層在硅襯底上制作的器件電極（源、柵、漏、接地、電源等）處接觸孔位置（窗口）
第一部分鏈接：http://www.solar-ruike.com.cn/soft/78/223/2019/20190405901648.html
第二部分鏈接：http://www.solar-ruike.com.cn/soft/78/223/2019/20190405901649.html
下載該資料的人也在下載
下載該資料的人還在閱讀
更多 >
- LCD的簡介和工藝流程詳細資料說明 28次下載
- 電子技術基礎教程之模擬集成電路的詳細資料概述 26次下載
- CMOS集成電路制造工藝的詳細資料說明 122次下載
- 如何進行集成電路異或門電路的設計詳細資料說明 24次下載
- 集成電路設計教程之集成電路版圖設計基礎的詳細資料說明 0次下載
- 集成電路版圖設計基礎教程之電阻版圖設計的資料說明 0次下載
- IC設計基礎教程之模擬集成電路基本單元的詳細資料說明 0次下載
- 12小時晶圓集成電路芯片制程工藝與工序前端FEO第一部分免費下載 47次下載
- 12吋晶圓集成電路芯片制程工藝與工序前端FEOL第二部分免費下載 34次下載
- 2、3、4輸入或非門集成電路工藝與版圖設計的詳細資料說明 0次下載
- CMOS工藝制程技術的詳細資料說明 76次下載
- 數字集成電路設計流程的詳細資料說明 13次下載
- 集成電路工藝技術教程之半導體襯底的詳細資料說明 24次下載
- LM393雙電壓比較器集成電路的詳細資料說明 104次下載
- multisim電路實驗仿真波形的詳細資料說明 38次下載
- 從晶圓到芯片：劃片機在 IC 領域的應用 46次閱讀
- 硅晶圓的制備流程 349次閱讀
- 半導體晶片的測試—晶圓針測制程的確認 939次閱讀
- 晶圓的劃片工藝分析 2012次閱讀
- 一個晶圓被分割成多個半導體芯片的工藝 1539次閱讀
- 集成電路測試定義 1982次閱讀
- 半導體制造工序中CMP后的晶圓清洗工序 3897次閱讀
- 晶圓和芯片的關系，晶圓能做多少個芯片 6w次閱讀
- 集成電路芯片封裝工藝流程 1.2w次閱讀
- 晶圓級CSP應該如何進行維修？返修工藝詳細說明 2342次閱讀
- 如何進行PLC控制程序的設計詳細資料PPT說明 6010次閱讀
- 晶圓是什么？它的工藝制造流程是怎樣的？ 2.6w次閱讀
- 晶圓的生產工藝流程與芯片生產工藝流程 4.7w次閱讀
- 國產襯底片的發展在雙極型集成電路制造中的應用詳細資料概述 1w次閱讀
- 晶圓制造工藝流程和處理工序 3.3w次閱讀
上傳資料賺積分下載排行
本周
- 1TC358743XBG評估板參考手冊
- 1.36 MB | 330次下載 | 免費
- 2開關電源基礎知識
- 5.73 MB | 11次下載 | 免費
- 3嵌入式linux-聊天程序設計
- 0.60 MB | 3次下載 | 免費
- 4DIY動手組裝LED電子顯示屏
- 0.98 MB | 3次下載 | 免費
- 5基于FPGA的C8051F單片機開發板設計
- 0.70 MB | 2次下載 | 免費
- 651單片機窗簾控制器仿真程序
- 1.93 MB | 2次下載 | 免費
- 751單片機PM2.5檢測系統程序
- 0.83 MB | 2次下載 | 免費
- 8基于51單片機的RGB調色燈程序仿真
- 0.86 MB | 2次下載 | 免費
本月
- 1OrCAD10.5下載OrCAD10.5中文版軟件
- 0.00 MB | 234315次下載 | 免費
- 2555集成電路應用800例(新編版)
- 0.00 MB | 33566次下載 | 免費
- 3接口電路圖大全
- 未知 | 30323次下載 | 免費
- 4開關電源設計實例指南
- 未知 | 21549次下載 | 免費
- 5電氣工程師手冊免費下載(新編第二版pdf電子書)
- 0.00 MB | 15349次下載 | 免費
- 6數字電路基礎pdf(下載)
- 未知 | 13750次下載 | 免費
- 7電子制作實例集錦 下載
- 未知 | 8113次下載 | 免費
- 8《LED驅動電路設計》 溫德爾著
- 0.00 MB | 6656次下載 | 免費
總榜
- 1matlab軟件下載入口
- 未知 | 935054次下載 | 免費
- 2protel99se軟件下載(可英文版轉中文版)
- 78.1 MB | 537798次下載 | 免費
- 3MATLAB 7.1 下載 (含軟件介紹)
- 未知 | 420027次下載 | 免費
- 4OrCAD10.5下載OrCAD10.5中文版軟件
- 0.00 MB | 234315次下載 | 免費
- 5Altium DXP2002下載入口
- 未知 | 233046次下載 | 免費
- 6電路仿真軟件multisim 10.0免費下載
- 340992 | 191186次下載 | 免費
- 7十天學會AVR單片機與C語言視頻教程 下載
- 158M | 183279次下載 | 免費
- 8proe5.0野火版下載(中文版免費下載)
- 未知 | 138040次下載 | 免費
工商網監
評論