資料介紹
該課程是根據半導體器件設計、制造、工藝這一流程而設計的實驗課程,L-edit是針對版圖設計而編制的應用軟件,學生通過課程的學習,對半導體器件的設計、制造、工藝等方面有一個全面的了解,實驗課程分為三大部分。
(1) 集成電路工藝流程
(2) 測量
(3) 用L-edit軟件進行集成電路的設計
在此,主要討論第三部分:用L-edit軟件進行集成電路的設計中的重點、難點和心得體會。
L-Edit是一個圖形編輯器,它允許生成和修改集成電路掩模版上的幾何圖形。鼠標接口允許用戶執行一般圖形操作。既可使用鼠標訪問下拉菜單也可以使用鍵盤來調用L-Edit命令。
結合雙極型集成電路為例,來說明集成電路中元件的形成過程以及版圖設計的一般過程。雙極型集成電路的基本制造工藝,可初略的分為兩類:一類為在元器件間要作電隔離區,另一類為元器件間自然隔離,具體講有如下的步驟:
①劃分隔離區
②基本設計條件的確定,包括采用的工藝,基本的工藝設計參數和版圖設計規則。
③各單元的圖形設計,集成電路中各元器件的圖形和尺寸,取決于它在集成電路中的作用以及對參數的要求,所有尺寸的設計要符合版圖設計規則的要求。所以在進行各單元的圖形、尺寸設計前,首先要對電路進行分析。
④布局,即把元器件按照電路的要求以及連線的要求,安排在合適的位置上。
⑤布線,即按照電路的連接關系以及連線的要求,把元器件連接成電路的符合版圖。
在教學過程中發現學生在學習L-edit軟件的過程中存在幾個突出的概念性誤區,下面我分三個方面來談:
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