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電子發燒友網>電子資料下載>電源技術>放電等離子體極紫外光源中的主脈沖電源

放電等離子體極紫外光源中的主脈沖電源

2010-03-05 | rar | 221 | 次下載 | 5積分

資料介紹

描述了Z箍縮放電等離子體極紫外光源系統中的主脈沖電源,給出了主電路拓撲結構,重點介紹了三級磁脈沖壓縮網絡,給出了關鍵參數的設計計算,并且介紹了新穎的末級磁脈沖壓縮放電結構。實驗結果顯示:各級磁脈沖壓縮效果達到設計指標,電源輸出電壓峰達30kV,輸出電流峰值大于40kA,電流脈沖寬度200ns,滿足Z箍縮放電等離子極紫外光源對主脈沖的要求。
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