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380kV/10mA直流高壓電源的研制:：介紹了一種用于離子注入機(jī)的380kV直流高壓電源的電路原理及實(shí)現(xiàn)方法。基于高壓電源在電壓變得越來(lái)越高時(shí)會(huì)由于電場(chǎng)分布不均勻等問(wèn)題容易導(dǎo)致電源自身的放電打火等問(wèn)題，提出了一種更為優(yōu)化的高壓倍壓方案。
關(guān)鍵詞：高壓；離子加速；對(duì)稱倍壓；均壓環(huán)
Abstract: A mathod to realize 380kV high voltage of the ion implanters DC high voltage power is proposed. Considering the electric discharge is easy to happen beause the electric field intensity isn憶t uniform when the voltage of high voltage power supply bencome higher and higher, an optimization design for the high voltage circuit is presented.
Keywords: high voltage ion accelerate double voltage counterbalancing ring
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