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激光微加工技術具有非接觸、加工材料范圍廣、精度高、重復率高、熱影響區域小、形狀與尺寸加工柔性高等優點，廣泛應用于微機械、微電子器件、醫療器械、航空精密制造等領域。目前，研究超短脈沖激光的微加工，大多數使用的是低功率激光（P《30W）。與低功率激光相比，高功率超短脈沖激光有更高的加工能力，但目前關于高功率超短脈沖激光材料去除加工的研究較少，特別是高于100W的激光功率。
中國科學院寧波材料技術與工程研究所先進制造所張文武帶領的激光與智能能量場制造工程團隊，在自主研發的開放式五軸聯動數控系統基礎上，與二軸掃描振鏡結合，開發出五軸聯動300W皮秒激光加工和40W納秒激光加工系統。利用300W皮秒激光加工系統，團隊在銅、鋁、石英等材料上加工微槽，分析了不同加工參數條件對微槽寬度及深度的影響。該成果為焦俊科、阮亮、張天潤、張文武共同完成，并在美國底特律ASME 2014 Manufacturing Science andEngineering Conference上能量場制造論壇作為主題報告加以報道，引起與會學者廣泛興趣。
五軸聯動高功率皮秒激光加工系統
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