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隨著聲表面波器件向小型化和微型化持續(xù)發(fā)展，各類(lèi)聲表面波傳感器也不斷涌現(xiàn)。其中聲表面波流體傳感器的研究也得到了廣泛開(kāi)展。過(guò)去認(rèn)為聲表面波將在流體內(nèi)發(fā)生嚴(yán)重衰減，但是隨著流體層厚度的減小，流體粘性效應(yīng)的作用也在逐漸變小，而質(zhì)量效應(yīng)在不斷增加。正基于此種思路，各種聲表面波微量流體的加熱和驅(qū)動(dòng)理論也在不斷提出。本文設(shè)計(jì)了由彈性層、保護(hù)層和流體層組成的層狀結(jié)構(gòu)聲表面波流體傳感器，并分析了聲表面波在此模型中的傳播特性。
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