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電子發燒友網>電子資料下載>傳感與控制>微傳感器與微執行器全書5-11章

微傳感器與微執行器全書5-11章

2016-04-26 | pdf | 9347KB | 次下載 | 3積分

資料介紹

本書是一部關于微機械系統方面的重要論著和首選技術參考書,全書共分九章,幾乎涉及MEMS技術的所有研究領域,暢述了各個領域中MEMS相關的基本原理,并在此基礎上,對典型器件和系,統的設計與工藝進行了詳細的介紹。
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