KEITHLEY吉時利6514型靜電計具有靈活的接口性能，其電流靈敏度、電荷測量能力、分辨率和速度都優于我們之前的靜電計。
內置式IEEE-488、RS-232與數字式I/O接口使它可以很容易地配置為全自動、高速系統，用于低電平測試。
KEITHLEY吉時利6514型靜電計特點：
(1)<1fA 噪聲;
(2)電壓測量時，輸入阻抗>200TΩ;
(3)電荷測量范圍：10fC-20μC;
(4)速度可達1200個讀數/秒;
(5)簡易的用戶界面提供開關，計算機以及元件處理器;
(6)主動消除電壓與電流的偏移。
KEITHLEY吉時利6514型號主要技術指標
電流測量：<1fA(包含噪聲)～20mA。
電壓測量：10μV(數字分辨率極限，可能含有噪聲)～200V。
電阻測量：10Ω～200GΩ;最低電阻精度優于1%，最高電阻精度優于10%;(使用236、237、238測量，通過加電壓測電流或加電流測電壓實現，不直接顯示阻值)。
