電子發燒友網訊：近年來，隨著消費電子領域的快速發展，MEMS器件正式進入了人們的視線。各大廠商這兩年來紛紛推出眾多的MEMS器件，MEMS涉及的產品領域極其豐富，大家所熟知的有MEMS加速度計、MEMS陀螺儀、MEMS麥克風、磁力計等。面對當前的MEMS器件熱，電子發燒友網在這里先為大家整理了ADI近年來發布的MEMS器件新品來供大家認識與了解。

ADI MEMS加速度計新品系列

ADI首款MEMS加速度計ADXL350具最小與最大偏移敏感度

美商亞德諾（Analog Devices， Inc.， ADI）公司推出首款具有相對于完整溫度範圍最小/最大偏移敏感度的微機電系統（MEMS）加速度計 ADXL350 ，這款叁軸 MEMS 加速度計具有在X與Y軸上+/-0.31 mg/℃以及在Z軸上+/-0.49 mg/℃的最大偏移溫度敏感度，能夠保證在-40℃至+85℃的完整溫度範圍中可預期與可量化的性能。

目前市場上的MEMS加速度計通常只會設定相對于溫度的偏移敏感度，并需要隨溫度進行校正以維持精確的感測器讀數。ADXL 350相對于溫度的最小/最大偏移敏感度規格，即使是在具有寬廣溫度範圍的應用當中都能夠保證提供已知而且可量化的偏移感測器量測。此外，ADXL 350具有低雜訊密度，能夠讓設計廠商以！ 低雜訊層從應用裝置獲得可以採信的量測結果。

ADXL 350提供具有13位元解析度的內建類比數位轉換功能，最低可達2 mg /LSB，而且組態可以在+/-1g/2g/4g/8g 的範圍設定。ADXL 350採用小巧佔位面積的3 mm x 4 mm x 1.2 mm、16隻接腳塑料腔層壓封裝。ADXL 350很適合使用于工業與國防工業當中的高性能應用，像是瓦斯/自來水計量表、環境監測器、以及軍用通訊無線電等。

ADXL 350 MEMS 加速度計的主要特點包括：

相對于溫度的最小/最大偏移敏感度為+/-0.31 mg/攝氏度 X/Y軸、+/-0.49 mg/攝氏度 Z軸，保證了在完整溫度範圍中可預期與可量化的性能。

以13位元的內建A/D轉換器提供2 mg /LSB的解析度，實現了低于1.0°傾斜變化的量測功能。

低功率模式實現了以動作為基礎的智慧型電源管理，并能夠以極低的功率消耗執行臨界感測與主動加速度量測。

ADI推出首款商用模擬三軸MEMS加速度計

ADI公司的ADXL377MEMS加速度計能夠精確測量接觸類運動及工業設備高沖擊事件中的沖擊力

Analog Devices， Inc. （NASDAQ： ADI）最近推出業界首款商用模擬三軸高g MEMS加速度計。ADXL377可測量±200 g滿量程范圍內且無信號飽和情況下由沖擊和振動引起的高沖擊事件的加速度。該測量范圍與可連續捕捉沖擊數據的模擬輸出相結合，使ADXL377成為接觸類運動的理想傳感器，可通過檢測沖擊力來了解創傷性腦損傷（TBI）指標。ADXL377帶寬為1600 Hz，也非常適合用于密切監控沖擊水平的工業設備。ADI公司的新型三軸加速度計無需對準及放置正交傳感器，可大大簡化設計。電路板空間比需要多個單軸加速度計的典型解決方案縮小了多達5倍。

在其他應用中，ADXL377三軸高g MEMS加速度計可集成到IZOD 2012 INDYCAR系列車手沖擊安全系統中。INDYCAR與ADI公司在ADXL377產品定義階段開展了密切合作，由此產生的器件使得INDYCAR能夠升級其通信耳機中的傳感器，據INDYCAR工程總監Jeff Horton稱，該耳機是用來測量練習賽、計時賽和正賽中由于碰撞對車手產生的沖擊。

Horton表示：“ADI公司的新型ADXL377三軸加速度計將為我們的耳機傳感器項目錦上添花。該器件尺寸更小，大大縮短了將元件放入各車手定制耳模之前所需的生產時間，而且加速度計的位置離耳道口更近，有助于將加速度計連接至駕駛員頭部，獲得更加準確的讀數。過去，要獲得相同的數據，我們必須在每只耳朵內使用三個獨立的IC。”

ADI公司MEMS/傳感器部門副總裁兼總經理Mark Martin表示：“如今，創傷性腦損傷已成為運動員、工人和軍人等各行各業都會遇到的嚴重醫學問題，ADI致力于幫助客戶設計更加小巧、精確、簡單的抗沖擊系統。由于上述大量應用都需要極高的移動能力，因此，如果能夠在省去正交傳感器的同時降低能耗，就意味著這些電池供電設備能夠延長單次充電的續航時間。”

ADXL377 MEMS加速度計特性

? 三軸檢測

? 范圍（g）： ±200

? 功耗：300 μA（典型值）

? 單電源供電：1.8 V至3.6 V

? 抗沖擊能力：10000 g

? 小尺寸薄型封裝

? 帶寬：1600 Hz，適合工業沖擊檢測應用

ADI推出雙軸iMEMS加速度計ADXL206

Analog Devices， Inc. ADI），全球領先的高性能信號處理解決方案供應商，最近正式全面推出高精度、低功耗、提供信號調理的模擬電壓輸出的雙軸iMEMS?加速度計ADXL206。單芯片ADXL206的滿量程加速度測量范圍為±5 g，既能測量振動等動態加速度，也能測量重力等靜態加速度。保證的工作溫度范圍為-40°C至+175°C，具有出色的整體穩定性，非常適合用于地質鉆探工具和其它極端高溫工業應用。

ADI公司MEMS和傳感器技術部營銷與應用經理Wayne Meyer表示：“我們沒有使用額外的溫度補償電路，而是采用創新的設計技術來確保從內部實現高性能。因此，它基本上不存在量化誤差或其它非單調性，溫度遲滯非常低，在?40°C至+175°C的整個溫度范圍內通常小于2 mg。這款產品再次彰顯了ADI公司在高性能MEMS慣性傳感器領域的領導地位。”

ADI公司儀器儀表市場營銷經理Pam Aparo表示：“一方面，設計師結合各種智能鉆探系統，以力求不斷深入地表，另一方面，又不得不在功耗、尺寸和空間要求與獲得更多信息之間作出權衡。ADXL206 iMEMS加速度計不僅是一款極為緊湊的解決方案，而且大幅降低了功耗，單軸功耗從10 mA以上降至0.5 mA以下。”

ADXL206 iMEMS加速度計的典型噪底為110 μg/√Hz，因而在傾斜檢測應用中，可以利用窄帶寬（《60 Hz）解析1 mg（0.06°傾角）以下的信號。根據應用需要，可以選擇0.5 Hz至2.5 kHz范圍內的帶寬。ADXL206提供13 mm × 8 mm × 2 mm、8引腳側面釬焊陶瓷雙列直插式封裝（SBDIP）。

ADXL206 iMEMS加速度計主要特性

溫度范圍：–40°C至+175°C 分辨率：1 mg （60 Hz） 低功耗：700 μA（VS = 5 V，典型值） 高零g偏移可重復性 高靈敏度精度 抗沖擊能力：3500 g 產品報價與供貨。