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南大光電預計2019年底建成一條光刻膠生產線

半導體動態 ? 來源:工程師吳畏 ? 2019-07-18 16:14 ? 次閱讀

7月17日,南大光電在互動平臺透露,公司設立光刻膠事業部,并成立了全資子公司“寧波南大光電材料有限公司”,全力推進“ArF光刻膠開發和產業化項目”落地實施。目前該項目完成的研發技術正在等待驗收中,預計2019年底建成一條光刻膠生產線,項目產業化基地建設順利。

資料顯示,南大光電是一家專業從事高純電子材料研發、生產和銷售的高新技術企業,公司于2012年8月7日在深圳證券交易所創業板掛牌上市。

憑借30多年來的技術積累優勢,南大光電先后攻克了國家863計劃MO源全系列產品產業化、國家“02—專項”高純電子氣體(砷烷、磷烷)研發與產業化、ALD/CVD前驅體產業化等多個困擾我國數十年的項目,填補了多項國內空白。2017年,南大光電承擔了集成電路芯片制造用關鍵核心材料之一的193nm光刻膠材料的研發與產業化項目。

通過承擔國家重大技術攻關項目并實現產業化,南大光電形成了MO源、電子特氣、ALD/CVD前驅體材料和光刻膠四大業務板塊。

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