日本Silicon Sensing Systems公司將擴(kuò)大其在日本的MEMS代工廠規(guī)模，新增的廠房設(shè)施，主要為了滿足MEMS慣性傳感器和濺射PZT（鋯鈦酸鉛）薄膜MEMS器件顯著增長需求。新廠房占地面積3000平方米，直接將當(dāng)前的晶圓產(chǎn)量提升一倍以上，緊跟市場增長預(yù)測，在未來五年內(nèi)將產(chǎn)量增加五倍。為了跟上PZT薄膜MEMS器件市場增長規(guī)模并緩解成本壓力，Silicon Sensing Systems已經(jīng)擴(kuò)大了其8寸晶圓生產(chǎn)線的產(chǎn)能。

此次擴(kuò)張是公司兩年重大投資計(jì)劃的一部分，投資主要用于升級(jí)設(shè)備、功能和產(chǎn)能。隨著Silicon Sensing Systems迎來其MEMS業(yè)務(wù)的20周年，該公司在全球范圍交付的器件已超過3000萬顆。

Silicon Sensing Systems業(yè)務(wù)開發(fā)經(jīng)理Eric Whitley解釋說：“Silicon Sensing Systems因生產(chǎn)高精密的MEMS慣性傳感器而聞名，最近我們向無晶圓半導(dǎo)體客戶開放了代工廠，這些客戶需要為他們的MEMS器件尋找可靠的PZT供應(yīng)源。在過去的3年里，我們看到了強(qiáng)勁的市場需求，許多客戶都在提高產(chǎn)量，并尋求高效、高精密MEMS元件的可靠供應(yīng)。作為團(tuán)隊(duì)的一部分，我們很高興能夠參與該業(yè)務(wù)的發(fā)展和增長。”

Silicon Sensing Systems日本公司總經(jīng)理Hiroshi Tanaka先生負(fù)責(zé)監(jiān)督擴(kuò)張計(jì)劃的執(zhí)行，他補(bǔ)充道：“這是Silicon Sensing Systems不斷發(fā)展過程中的一個(gè)重要里程碑。我們的目標(biāo)是到2020年底從現(xiàn)有廠房順利過渡到我們新的可抗震的建筑中。與此同時(shí)，我們正在添置許多沉積和蝕刻設(shè)備，包括新的ALD（原子層沉積）設(shè)備，該設(shè)備可用于制備適用于惡劣環(huán)境下的PZT薄膜?！?/p>

薄膜PZT MEMS

Silicon Sensing Systems于2010年推出首款濺射PZT薄膜MEMS陀螺儀傳感器：PinPoint?陀螺儀。從那時(shí)候起，PinPoint?陀螺儀累計(jì)生產(chǎn)已超過1000萬顆，廣泛應(yīng)用于汽車、工業(yè)和商業(yè)領(lǐng)域。作為一款具有超高可靠性（最近3年0 ppm返修率）、高精確度且價(jià)格合理的MEMS傳感器，PinPoint?陀螺儀目前仍然是最暢銷的產(chǎn)品，在業(yè)界擁有良好的聲譽(yù)。

基于PinPoint?的優(yōu)勢，Silicon Sensing Systems的薄膜材料濺射技術(shù)已達(dá)到了領(lǐng)先水平。Silicon Sensing Systems可為全球客戶不同的MEMS器件提供所需的PZT薄膜，如微鏡、噴墨打印頭噴嘴和聲學(xué)器件。在許多的應(yīng)用案例中，Silicon Sensing Systems是將壓電器件從塊體材料向薄膜材料轉(zhuǎn)變的重要推手，而薄膜材料在經(jīng)濟(jì)、尺寸和功耗方面更具有優(yōu)勢。

關(guān)于Silicon Sensing Systems公司

日本Silicon Sensing Systems是一家專業(yè)從事慣性傳感器和系統(tǒng)開發(fā)、生產(chǎn)和銷售的科技公司，由Collins Aerospace和Sumitomo Precision Products兩家企業(yè)合資創(chuàng)辦。該公司成立于1999年，為市場提供硅基微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）導(dǎo)航和穩(wěn)定技術(shù)。自公司成立以來，已為成千上萬的客戶提供了近4000萬顆MEMS陀螺儀和加速度計(jì)，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于全球各地的汽車ESC、遙控直升機(jī)、GPS、機(jī)器人等姿態(tài)操控、安全系統(tǒng)。