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陶瓷基板工藝流程

工程師 ? 來源:未知 ? 作者:姚遠香 ? 2019-05-21 16:11 ? 次閱讀

氧化鋁陶瓷基板的機械強度高,且絕緣性和避光性較好,在多層布線陶瓷基板、電子封裝及高密度封裝基板中收到了廣泛應用。但目前國內在氧化鋁陶瓷基板的生產中存在一些問題,例如燒結溫度過高等,導致我國在該部件的應用主要依靠進口。小編今天針對氧化鋁陶瓷基板的工藝展開概述。

一、氧化鋁陶瓷基板的晶體結構、分類及性能

氧化鋁有許多同質異晶體,例如α-Al2o3、β-Al2o3、γ-Al2o3等,其中以α-Al2o3的穩定性較高,其晶體結構緊密、物理性能與化學性能穩定,具有密度與機械強度較高的優勢,在工業中的應用也較多。

氧化鋁陶瓷通過氧化鋁純度進行分類,氧化鋁純度為》99%被稱為剛玉瓷,氧化鋁純度為99%、95%和90%左右被稱為99瓷、95瓷和90瓷,含量》 85%的氧化鋁陶瓷一般稱為高鋁瓷。99.5%氧化鋁陶瓷的體積密度為3.95g/cm3,抗彎強度為395MPa,線性膨脹系數為8.1×10-6,熱導率為32W/(m·K),絕緣強度為18KV/mm。

二、黑色氧化鋁陶瓷基板制造工藝

黑色氧化鋁陶瓷基板多用于半導體集成電路電子產品中,這主要是由于大部分電子產品具有高光敏性,需要封裝材料具有較強的遮光性,才能夠保障數碼顯示的清晰度,因此,多采用黑色氧化鋁陶瓷基板進行封裝。隨著現代電子元件不斷更新,對于黑色氧化鋁封裝基板的需求也不斷擴大,目前國內外均積極開展對黑色氧化鋁陶瓷制造工藝的研究。

電子產品封裝中使用的黑色氧化鋁陶瓷,基于其應用領域的需求,黑色著色料的選擇需要結合陶瓷原材料的性能。例如需要考慮到其陶瓷原材料需要具備較好的電絕緣性,因此,黑色著色料除了考慮到陶瓷基板的最終著色度、機械強度外,同時還要考慮到其電絕緣性、隔熱性及電子封裝材料的其他功能。在陶瓷著色過程中,低溫環境可能促使著色料的揮發性受到影響而保溫一定時間,在此過程中,游離狀態著色物可能集結成尖晶石類化合物,能夠避免著色料在高溫環境下持續揮發,保障著色效果。

三、流延法制造黑色氧化鋁陶瓷基板工藝

流延法是指在陶瓷粉料中加入溶劑、分散劑、粘結劑、增塑劑等物質,從而使漿料分布均勻,然后在流延機上制成不同規格陶瓷片的制造工藝,也被稱為刮刀成型法。該工藝最早出現于上世紀40年代后期,被用于生產陶瓷片層電容器,該工藝的優點在于:

(1)設備操作簡單,生產高效,能夠進行連續操作且自動化水平較高;

(2)胚體密度及膜片彈性較大;

(3)工藝成熟;

(4)生產規格可控且范圍較廣。

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