5X高分辨率遠(yuǎn)心鏡頭
工業(yè)鏡頭相當(dāng)于機(jī)器視覺系統(tǒng)中的眼睛,它能將目標(biāo)成像在圖像傳感器的光敏面上,對視覺圖像成像發(fā)揮著重要作用。今天我們來看看Moritex的5X高分辨率遠(yuǎn)心鏡頭——MML5-HR80DVI-43M58。
MML5-HR80DVI-43M58在傳統(tǒng)高倍遠(yuǎn)心鏡頭的基礎(chǔ)上,提升了分辨率用以匹配高像素相機(jī),倍率更高、像面更大、分辨率更高,應(yīng)用于搭配大靶面相機(jī)的高精度檢測時表現(xiàn)優(yōu)異。
同時,5X高分辨率遠(yuǎn)心鏡頭具有優(yōu)異的色差校正性能及內(nèi)同軸亮度均勻性,做了復(fù)消色差設(shè)計將軸向色差控制在景深范圍內(nèi),實(shí)現(xiàn)切換光源而無需對焦。鏡頭的小尺寸設(shè)計還能更好地控制設(shè)備的緊湊性。
01更高的分辨率
MML5-HR80DVI-43M58分辨率高,光圈開到最大達(dá)到F14.7, 比起常規(guī)F19,分辨率從2.6μm提高至2μm。
02優(yōu)異的色差校正
做了復(fù)消色差后,物方的色差控制在了5μm以內(nèi)(中心波長R 660nm/G 520nm/B 470nm),即使460~660nm范圍內(nèi),總的色差也控制在了7μm以內(nèi)。
03更緊湊的尺寸
MML5-HR80DVI-43M58將物像距控制在了395mm內(nèi),甚至遠(yuǎn)小于同級的鏡頭本體長度,在性能維持甚至更高的情況下,卻更有效的幫助控制了設(shè)備的緊湊性。
當(dāng)MML5-HR80DVI-43M58搭配6500萬,2500萬或4500萬等高分辨率相機(jī)時,是晶圓段的臟污、顆粒、劃痕、圖案缺陷和電極偏移等等瑕疵檢測的不二選擇。
晶圓實(shí)測圖
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