北方華創(chuàng)微電子獲加熱器及設(shè)備專利
近期，位于北京市的北方華創(chuàng)微電子智能裝備有限公司榮獲了一項(xiàng)名為“半導(dǎo)體設(shè)備的加熱器及半導(dǎo)體設(shè)備”的專利，其授權(quán)公告號(hào)為CN113604786B，并將于2024年5月17日正式生效。該項(xiàng)發(fā)明的申請(qǐng)日期定格在2021年7月6日。
這項(xiàng)申請(qǐng)致力于提供一種半導(dǎo)體設(shè)備的新型加熱器及其適用范圍，包括了加熱盤和第一冷卻元件兩個(gè)關(guān)鍵部件。其中，加熱盤被設(shè)計(jì)成可放置在半導(dǎo)體設(shè)備的腔體內(nèi)，其底部設(shè)有開(kāi)口，使第一空腔能夠與外部空氣進(jìn)行流通。而第一冷卻元件則被固定在第一空腔內(nèi)部，負(fù)責(zé)將冷卻氣體導(dǎo)入至第一空腔內(nèi)。這種加熱器在半導(dǎo)體設(shè)備的生產(chǎn)過(guò)程中，能有效保持加熱盤的溫度穩(wěn)定性。
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