5月24 - 26日，在首屆“科學儀器開發者大會”上，致真精密儀器自主研發的原子力顯微鏡系列產品重磅發布！此次發布的產品包括

多功能原子力顯微鏡（AtomicaPrecision）、晶圓級原子力顯微鏡（Wafer Mapper-M）。

該產品穩定性強、可拓展性良好、提供定制服務；可拓展橫向力顯微鏡、靜電力顯微鏡、磁力顯微鏡、掃描開爾文探針顯微鏡、刻蝕和納米操作等。該產品作為高速、高精度微觀形貌表征及綜合物性分析工具，可以為高端科研與企業生產研發提供更多的選擇與助力。

產品介紹

利用微懸臂探針結構對導體、半導體、絕緣品等固體材料進行三維樣貌表征，縱向噪音水平低至0.03 nm(開環），可實現樣品表面單個原子層結構形貌圖像繪制。可以測量表面的彈性、塑性、硬度、黏著力、磁性、電極化等性質，還可以在真空，大氣或溶液下工作，在材料研究中獲得了廣泛的使用。

設備亮點

● 多種工作模式

●適配環境：空氣、液相

● 多功能配置

●穩定性強

●可拓展性良好

典型案例

晶圓級原子力顯微鏡

產品介紹

利用微懸臂探針結構可對導體、半導體、絕緣品等固體材料進行三維樣貌表征。樣品臺兼容12寸晶圓，電動樣品定位臺與光學圖像相結合，可在300X300mm區域實現1μm的定位精度，激光對準，探針逼近和掃描參數調整完全自動化操作。可用于產線，對晶圓粗糙度進行精密測試。

設備亮點

● 多種工作模式

●適配環境：空氣、液相

●可旋轉式掃描頭

● 多功能配置

●穩定性強、可拓展性良好

典型案例

審核編輯：劉清