頻譜分析儀的技術指標主要包括以下幾個方面：

頻率范圍：這是頻譜分析儀能夠測量的信號頻率的最高和最低值。現代頻譜分析儀的頻率范圍可以從非常低的頻率（如低于1赫茲）擴展到幾百吉赫茲的高頻范圍。

分辨力：也稱為頻率分辨率，是頻譜分析儀在顯示器上能夠區分最鄰近的兩條譜線之間頻率間隔的能力。分辨力受到濾波器型式、波形因數、帶寬、本振穩定度、剩余調頻和邊帶噪聲等因素的影響。在高頻段，現代頻譜儀的分辨力可以達到10～100赫茲。

分析譜寬：也稱為頻率跨度，是指頻譜分析儀在一次測量分析中能顯示的頻率范圍。這個范圍可以等于或小于儀器的頻率范圍，并且通常是可調的。

分析時間：完成一次頻譜分析所需的時間，它與分析譜寬和分辨力有密切關系。

掃頻速度：分析譜寬與分析時間之比，也就是掃頻的本振頻率變化速率。

靈敏度：頻譜分析儀顯示微弱信號的能力，受到頻譜儀內部噪聲的限制。靈敏度越高，表示頻譜分析儀能夠探測到的信號強度越低。

動態范圍：在顯示器上可同時觀測的最強信號與最弱信號之比。它反映了頻譜分析儀同時分析大信號和小信號的能力。

假響應：在顯示器上出現不應有的譜線。這是需要避免的情況，因為它可能會干擾對真實信號的測量和分析。

除了上述主要技術指標外，頻譜分析儀的性能還可能包括測試精度、測試速度、調制信號分析功能等。隨著技術的發展，現代頻譜分析儀還可以完成對各種模擬調制、數字調制、無線通信標準、雷達信號的解調分析等任務，為工程師和研究人員提供強大的分析工具。