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基于石墨烯的觸覺傳感器研究進(jìn)展綜述

MEMS ? 來源:MEMS ? 2024-04-28 09:56 ? 次閱讀

石墨烯作為一種極具潛力的納米材料,獨(dú)特的機(jī)電特性使其在多種工業(yè)應(yīng)用中展現(xiàn)出廣闊的應(yīng)用前景。常見的石墨烯形態(tài)包括石墨烯粉末、氧化石墨烯(GO)和還原氧化石墨烯(rGO),這些材料常被用于開發(fā)各種基于純材料或納米復(fù)合材料的柔性觸覺傳感器。得益于石墨烯與聚合物基質(zhì)及其它金屬納米材料優(yōu)異的界面結(jié)合能力,石墨烯基觸覺傳感器能夠在多種操作環(huán)境下展現(xiàn)出優(yōu)異性能。

據(jù)麥姆斯咨詢報道,近期,來自浙江海洋大學(xué)、澳大利亞昆士蘭大學(xué)(The University of Queensland)、德國開姆尼茨工業(yè)大學(xué)(Chemnitz University of Technology)等機(jī)構(gòu)的研究團(tuán)隊在Sensors And Actuators A-physical期刊上發(fā)表了一篇題為“A review on graphene-based sensors for tactile applications”的綜述文章,重點(diǎn)探討了基于石墨烯的柔性觸覺傳感器的開發(fā)及其在機(jī)器人觸覺等領(lǐng)域的應(yīng)用,并對當(dāng)前面臨的挑戰(zhàn)和未來發(fā)展進(jìn)行了展望。

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圖1 本研究的圖文摘要

基于石墨烯的觸覺傳感器

這篇綜述文章介紹了基于純石墨烯、氧化石墨烯和還原氧化石墨烯三種形態(tài)制備觸覺傳感器的技術(shù)路線,通過各種印刷技術(shù),將不同形態(tài)的石墨烯與聚合物基底結(jié)合,形成單層及多層結(jié)構(gòu)的傳感器薄膜。這些傳感器在機(jī)器人觸覺等領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。

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圖2 (a)在二氧化硅(SiO?)基底上利用石墨烯/聚二甲基硅氧烷(PDMS)制備的薄膜傳感器;(b)透明石墨烯基傳感器的圖像;(c)石墨烯薄膜的透射率和拉曼光譜

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圖3 (a)使用基于還原氧化石墨烯的導(dǎo)電油墨制備柔性傳感器的示意圖;(b)傳感器的粘度、損耗模量和存儲模量隨剪切速率、剪切應(yīng)力和時間的變化特征;(c)傳感器尺寸圖示

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圖4 (a)柔性石墨烯/聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)傳感器的制備步驟;(b)通過晶圓級制造工藝制備的傳感器放大圖;(c)傳感器拉伸前后的狀態(tài)變化;(d)傳感器對施加應(yīng)變的響應(yīng)

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圖5 (a)基于石墨烯的摩擦納米發(fā)電機(jī)(TENG)器件的光學(xué)圖像;(b)拉伸前后的傳感器圖像:(c)利用有限元分析得出的應(yīng)變分布;(d)與-x和-y方向拉伸有關(guān)的電阻相對變化;(e)開路電壓隨-x和-y方向拉伸的相對變化

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圖6 (a)開發(fā)氧化石墨烯薄膜的制備方案;(b)傳感器對濕度和彎曲曲率的響應(yīng)

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圖7 (a)基于氧化石墨烯的電容壓力傳感器制備步驟;(b)傳感器電容響應(yīng)隨壓力變化

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圖8 (a)基于氧化石墨烯/PET的傳感器制備步驟;(b)傳感器的靈活性展示;(c)用于溫度傳感的傳感器尺寸;(d)施加壓力前后傳感器的原理圖和掃描電鏡圖像

通過對比基于不同石墨烯形態(tài)的觸覺傳感器的制備和性能,可以發(fā)現(xiàn)不同加工材料之間存在明顯差異。對于采用純石墨烯開發(fā)的觸覺傳感器來說,其最大優(yōu)勢之一是靈敏度極高,這主要得益于石墨烯卓越的電導(dǎo)率和抗拉強(qiáng)度。石墨烯作為一種活性材料,可形成用于觸覺傳感應(yīng)用的物理傳感器,其性能優(yōu)于傳統(tǒng)的應(yīng)變傳感方法。對于基于石墨烯衍生物的觸覺傳感器來說,它們還具有其它優(yōu)勢,例如快速制備、操作簡單、分辨率高、成本低和性能高效。這些傳感器用于機(jī)器人觸覺傳感應(yīng)用時具有顯著優(yōu)勢,例如能夠有效提升外科手術(shù)等領(lǐng)域的操作精準(zhǔn)度。

基于石墨烯的觸覺傳感器應(yīng)用研究

石墨烯基觸覺傳感器的主要優(yōu)勢在于其高導(dǎo)電性、出色的機(jī)械柔韌性、響應(yīng)的高重復(fù)性和再現(xiàn)性、生物兼容性以及較低的響應(yīng)和恢復(fù)時間。這些傳感器在健康監(jiān)測和工業(yè)領(lǐng)域也有各種成功應(yīng)用。例如,將石墨烯基觸覺傳感器連接在機(jī)器人或人體關(guān)節(jié)上,能夠?qū)崿F(xiàn)動作細(xì)節(jié)的精準(zhǔn)捕捉。

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圖9 (a)石墨烯基傳感器的原理圖;傳感器響應(yīng)描述了其(b)壓阻特性和(c)快速響應(yīng)時間

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圖10 新加坡國立大學(xué)研究人員設(shè)計的新型機(jī)器人系統(tǒng),其壓阻薄膜由石墨烯層組成

研究展望

在未來的研究發(fā)展中,還需要進(jìn)一步優(yōu)化石墨烯材料質(zhì)量,從而有效提升石墨烯基觸覺傳感器的性能。由于石墨烯同素異形體的物理差異會導(dǎo)致其與聚合物基體結(jié)合程度的差異,進(jìn)而造成傳感器響應(yīng)差異,因此需要不斷創(chuàng)新石墨烯合成方法。從機(jī)器人觸覺應(yīng)用角度來看,將這些石墨烯基傳感器用作電子皮膚將進(jìn)一步提高機(jī)器人對多種刺激模式同時響應(yīng)的能力。這些傳感器原型有望在實(shí)時通信中以無線方式使用,例如將它們連接到假肢身體部位或失去皮膚的人體部位。隨著機(jī)器人在人類生活中的影響越來越大,有效利用石墨烯基傳感器與合適的執(zhí)行器連接,將極大地推動智能傳感系統(tǒng)的發(fā)展。

論文信息
https://doi.org/10.1016/j.sna.2024.115363



審核編輯:劉清

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原文標(biāo)題:綜述:基于石墨烯的觸覺傳感器研究進(jìn)展

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