據傳感器專家網獲悉，3月11日，廣州增芯科技有限公司12英寸先進智能傳感器及特色工藝晶圓制造量產線項目在廣州增城開發區舉行光刻機搬入活動，標志著增芯項目順利進入調試投產準備階段。

據悉，增芯項目是省、市重點項目，打造國內第一條12英寸智能傳感器（MEMS）及特色工藝生產線，對增城乃至廣州、廣東集成電路產業發展具有重要意義。增芯項目占地面積達370畝，分兩期建設，此前披露消息顯示，一期批復投資70億元，總投資達370億元。根據規劃，將建設月加工能力達2萬片的12英寸MEMS制造生產線，預計2024年6月通線。

據羊城派報道，據了解，該項目預計今年6月份將完成首批設備安裝，今年12月底完成第一個有良率的產品下線。廣州增芯科技有限公司總經理張亮表示，目前國產裝備在增芯一期項目里的使用占比超過了35%，希望在二期投產的時候能達到一半以上。

增城開發區投資促進局消息顯示，2023年9月20日，增芯12英寸先進智能傳感器及特色工藝晶圓制造量產線項目正式封頂。項目總投資達370億元，分為兩期規劃，占地面積達370畝，一期達產后預計產能2萬片/月。項目由廣州增芯科技有限公司進行投資，擬建設半導體晶圓制造廠，主要生產12英寸工藝產品，產品應用領域為傳感器、模擬芯片和汽車電子等。

據廣州日報報道，該項目自2022年底動工起，僅用9個月零6天完成自樁基啟動至主廠房封頂建設，實現了“開工一年裝機”，封頂至今僅5個月多月便迎來了生產線最核心的裝備——光刻機。

審核編輯 黃宇