太陽(yáng)能電池生產(chǎn)環(huán)節(jié)中，清洗制絨是重要的環(huán)節(jié)之一，制絨的工藝流程的優(yōu)化和技術(shù)升級(jí)能提高太陽(yáng)能電池的轉(zhuǎn)換效率，降低生產(chǎn)成本。制絨絨面的形成受到NaOH的濃度、停留時(shí)間、過(guò)程中溫度等等因素的影響。美能3D共聚焦顯微鏡，專(zhuān)為光伏行業(yè)而生，能夠測(cè)量亞微米級(jí)的形貌起伏，可以手動(dòng)亦可自動(dòng)測(cè)量金字塔絨面的整體形狀，單個(gè)金字塔的形狀和高度也能高精度呈現(xiàn)，滿(mǎn)足客戶(hù)的測(cè)試需求。

硅片為何需要制絨？首先清洗制絨這個(gè)環(huán)節(jié)可以去除硅片表面的污漬，降低不良品的出現(xiàn)。其次較好的金字塔，一定是小而均勻的，且布滿(mǎn)整個(gè)硅片表面，這增加了硅片表面積，也意味著增加了PN結(jié)的面積。

最重要的是制絨可以形成起伏不平的絨面，使之產(chǎn)生陷光效應(yīng)，增加硅片對(duì)太陽(yáng)光的吸收，降低硅表面的光反射率，提高短路電流Isc，使光最大限度的被利用轉(zhuǎn)化為電能。單晶硅片制絨前后表面反射率

制絨的最佳效果在合適的腐蝕速率下，成核與生長(zhǎng)達(dá)到一個(gè)平衡，形成大小合適、結(jié)構(gòu)完整且密布整個(gè)硅片表面的金字塔結(jié)構(gòu)，此時(shí)的金字塔結(jié)構(gòu)較為優(yōu)化，減反效果最好。

如果腐蝕速率較高，金字塔的生長(zhǎng)會(huì)大于成核，表現(xiàn)的絨面結(jié)構(gòu)為大金字塔，且表面有未成核處，金字塔之間的空隙增大了表面反射率。當(dāng)腐蝕速度過(guò)低時(shí)，金字塔成核大于生長(zhǎng)，表現(xiàn)為結(jié)構(gòu)不完整、密而層疊的金字塔。

腐蝕速率快慢由三個(gè)反應(yīng)速度來(lái)決定，一是腐蝕液流至被腐蝕物表面的移動(dòng)速率；二是腐蝕液與被腐蝕物表面產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)的反應(yīng)速率；三是生成物從被腐蝕物表面離開(kāi)的速率。

制絨的影響因素

1.NaOH濃度影響

NaOH濃度對(duì)硅片反應(yīng)速率有重要影響。制絨過(guò)程中，由于所用NaOH濃度均為低堿濃度，隨NaOH濃度升高，硅片腐蝕速率相對(duì)上升。與此同時(shí)，隨NaOH濃度改變，硅片反應(yīng)的AF也發(fā)生改變，因此，NaOH濃度對(duì)金字塔的角錐度也有重要影響。不同NaOH濃度下的絨面顯微鏡圖

2.溫度影響

溫度過(guò)高，反應(yīng)AF值下降，絨面連續(xù)性降低，同時(shí)腐蝕速率過(guò)快，控制困難；

溫度過(guò)低，則腐蝕速率過(guò)慢，制絨周期延長(zhǎng)，通常制絨溫度控制在75℃-85℃。不同溫度下的絨面顯微圖

3.時(shí)間影響

制絨包括金字塔的形核及長(zhǎng)大過(guò)程，因此制絨時(shí)間對(duì)絨面的形貌及硅片腐蝕量均有重要影響，下圖為不同制絨時(shí)間后絨面顯微情況；不同制絨時(shí)間的絨面顯微圖

美能3D共聚焦顯微鏡是以光學(xué)技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過(guò)系統(tǒng)軟件對(duì)柵線的高度與寬度、絨面上的金字塔數(shù)量進(jìn)行定量檢測(cè)，以反饋其中的清洗制絨、絲網(wǎng)印刷工藝質(zhì)量。

• 精確可靠的3D測(cè)量，實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)共聚焦顯微圖像

• 超高共聚焦鏡頭，Z軸顯示分辨率可達(dá)1nm

• 198-39966倍最大綜合倍率，精確測(cè)量亞微米級(jí)形貌

全自動(dòng)?xùn)啪€絨面測(cè)量，快速生成數(shù)據(jù)

美能3D共聚焦顯微鏡-金字塔絨面測(cè)量視頻

ME-PT3000 3D共聚焦顯微鏡專(zhuān)用于光伏行業(yè)對(duì)光伏電池片表面的柵線及絨面進(jìn)行質(zhì)量檢測(cè)的光學(xué)儀器。以光學(xué)技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過(guò)系統(tǒng)軟件對(duì)光伏電池片上的柵線的高度與寬度、絨面上的金字塔數(shù)量進(jìn)行定量檢測(cè)，以反饋光伏電池片清洗制絨、絲網(wǎng)印刷工藝質(zhì)量。