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請(qǐng)問(wèn)丙酮在芯片制造中有什么作用呢?丙酮怎樣防護(hù)?

中科院半導(dǎo)體所 ? 來(lái)源:Tom聊芯片智造 ? 2024-01-22 10:06 ? 次閱讀

丙酮在半導(dǎo)體制造中發(fā)揮關(guān)鍵作用,是不可或缺的清洗劑。它憑借出色的溶解能力和揮發(fā)性,助力芯片制造流程的順利進(jìn)行。

學(xué)過(guò)化學(xué)的朋友對(duì)于丙酮應(yīng)該不陌生,丙酮在各個(gè)行業(yè)均發(fā)揮了重要作用,在塑料制造 ,化妝品,織物清潔等方面比較常見(jiàn)。然而您知道在芯片制造行業(yè),丙酮有什么作用嗎?操作中需要注意什么?用在哪些半導(dǎo)體工序中嗎?

什么是丙酮?

丙酮(Acetone),是一種無(wú)色、易燃的液體,化學(xué)式為 CH3 (CO) CH3,它是最簡(jiǎn)單的酮類(lèi)化合物,可以通過(guò)酮化反應(yīng)制備,因其特有的氣味而易于識(shí)別。沸點(diǎn):56.05°C ,密度:0.791 g/mL (20 °C)。

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溶解性強(qiáng):丙酮是極性有機(jī)溶劑,與水,醇,醚和大部分有機(jī)溶劑都可以混溶。

揮發(fā)性強(qiáng):當(dāng)丙酮暴露在空氣中時(shí),它會(huì)迅速地蒸發(fā),形成蒸汽,其揮發(fā)性比水要強(qiáng)。這種特性使得丙酮在一些需要快速干燥的應(yīng)用中非常有用。

易燃性:在常溫下,它可以迅速產(chǎn)生足夠的蒸汽與空氣形成可燃混合物。一旦遇到明火等,就會(huì)發(fā)生燃燒和爆炸。

毒性:長(zhǎng)時(shí)間或大劑量暴露于其蒸汽中,輕度暴露可引起眼睛、皮膚、鼻子和喉嚨的刺激,嚴(yán)重時(shí)可能導(dǎo)致頭痛、眩暈、惡心、嘔吐、嗜睡,甚至喪失意識(shí)。如果長(zhǎng)時(shí)間接觸或大劑量吸入,可能對(duì)肝、腎和神經(jīng)系統(tǒng)產(chǎn)生慢性毒性。

丙酮在芯片制造中有什么用?

丙酮(Acetone)在半導(dǎo)體制造中的主要應(yīng)用是作為一種清洗劑。

丙酮主要被用于清洗有機(jī)污染物,如光刻膠、油脂,顆粒等。其分子結(jié)構(gòu)中含有極性的酮基,使其具有很好的溶解能力。丙酮揮發(fā)性強(qiáng),容易蒸發(fā),能夠在清洗后迅速去除,不會(huì)留下殘留物,因此是一種理想的清洗劑。

在去膠工序中,丙酮可以用來(lái)清洗和去除不需要的光刻膠。丙酮是一種極性溶劑,其分子中的氧原子可以與光刻膠中的極性基團(tuán)形成氫鍵,使得光刻膠可以溶解在丙酮中,去膠能力十分強(qiáng)勁。

丙酮怎樣防護(hù)?

在處理丙酮時(shí),一定要確保良好的通風(fēng),避免在封閉的空間中使用丙酮,在封閉的空間中容易形成可燃蒸汽,具有一定的風(fēng)險(xiǎn)。

丙酮對(duì)皮膚有刺激性,應(yīng)避免接觸皮膚和眼睛。在處理丙酮時(shí),應(yīng)佩戴適當(dāng)?shù)姆雷o(hù)設(shè)備,如化學(xué)防護(hù)手套、防護(hù)眼鏡等。

不要靠近火源,因?yàn)楸且兹嫉模梢栽诨鹪椿蚋邷叵氯紵L幚肀牡胤綉?yīng)配備適當(dāng)?shù)臏缁鹪O(shè)備,以備不時(shí)之需。

儲(chǔ)存丙酮時(shí),應(yīng)放在陰涼、通風(fēng)的地方,并確保容器密封。避免靠近熱源和做好防靜電處理,以防止泄漏或爆炸。








審核編輯:劉清

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原文標(biāo)題:丙酮在芯片制造中有什么用?

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