光刻膠又稱光致抗蝕劑,是指通過紫外光、電子束、離子束、X射線等的照射或輻射,其溶解度發(fā)生變化的耐蝕劑刻薄膜材料,是半導(dǎo)體制造中使用的核心電子材料之一。
伴隨著晶圓制造規(guī)模持續(xù)提升,中國有望承接半導(dǎo)體光刻膠產(chǎn)業(yè)鏈轉(zhuǎn)移。
01光刻膠定義
光刻膠,也被稱為“光致抗蝕劑”,是一種用于光刻的載體介質(zhì),它可以利用光化學(xué)反應(yīng)將光信息在光刻系統(tǒng)中經(jīng)過衍射和過濾后轉(zhuǎn)化為化學(xué)能,從而將微細(xì)圖形從掩模版轉(zhuǎn)移到待處理的基板。
按顯影效果不同,光刻膠可分為正光刻膠和負(fù)光刻膠;按化學(xué)結(jié)構(gòu)不同可分為光聚合型、光分解型和光交聯(lián)型;按下游應(yīng)用可分為半導(dǎo)體光刻膠、面板光刻膠、PCB光刻膠。具體如圖所示:
02光刻膠行業(yè)發(fā)展政策
近年來,光刻膠行業(yè)受到各級政府的高度重視和國家產(chǎn)業(yè)政策的重點支持。國家陸續(xù)出臺了多項政策支持光刻膠行業(yè)發(fā)展,為光刻膠行業(yè)的發(fā)展提供了良好的環(huán)境。中國光刻膠行業(yè)具體政策如下:
03光刻膠行業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀
1.市場規(guī)模
目前,我國光刻膠產(chǎn)業(yè)鏈雛形初現(xiàn),從上游原材料、中游成品制造到下游應(yīng)用均在逐步完善,且隨著下游需求的逐漸擴大,光刻膠市場規(guī)模顯著增長。中商產(chǎn)業(yè)研究院發(fā)布的《2024-2029全球及中國光刻膠和光刻膠輔助材料行業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀調(diào)研及投資前景分析報告》顯示,我國光刻膠市場規(guī)模由2017年58.7億元增至2022年98.6億元,年均復(fù)合增長率為10.9%。中商產(chǎn)業(yè)研究院分析師預(yù)測,預(yù)計2023年我國光刻膠市場規(guī)模可達(dá)109.2億元。
2.產(chǎn)品結(jié)構(gòu)
光刻膠可以分為面板光刻膠(LCD光刻膠)、PCB光刻膠和半導(dǎo)體光刻膠(芯片光刻膠),其中半導(dǎo)體光刻膠生產(chǎn)難度較高。全球光刻膠產(chǎn)品占比中,三種光刻膠生產(chǎn)結(jié)構(gòu)較為均衡,相比之下,我國光刻膠行業(yè)發(fā)展起步較晚,生產(chǎn)能力主要集中在PCB光刻膠等中低端產(chǎn)品,其中PCB光刻膠占比達(dá)94%,而半導(dǎo)體光刻膠等高端產(chǎn)品仍需大量進口,自給率較低。未來隨著光刻膠企業(yè)生產(chǎn)能力的提高,我國光刻膠生產(chǎn)結(jié)構(gòu)將會進一步優(yōu)化。
3.競爭格局
光刻膠市場被東京應(yīng)化、杜邦、JSR、住友化學(xué)等國外巨頭所壟斷,日企在全球光刻膠市場中占據(jù)重要地位。其中,東京應(yīng)化市場份額占比最高達(dá)26%,杜邦、JSR、住友化學(xué)市場份額占比分別為17%、16%、10%。
4.企業(yè)布局情況
以上信息僅供參考,如有遺漏與不足,歡迎指正!
優(yōu)可測在光刻膠行業(yè)有諸多應(yīng)用:
白光干涉儀AM系列常用于測量光刻膠的表面粗糙度、線寬線高等;
薄膜厚度測量儀AF系列常用于測量光刻膠上的涂層厚度、鍍膜厚度等。
下面是部分檢測案例:
白光干涉儀AM系列測量光刻膠線寬、線高
薄膜厚度測量儀測量光刻膠涂層厚度
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