作為半導(dǎo)體裝備制造龍頭公司,大族半導(dǎo)體設(shè)備已廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體、LED、面板等制造業(yè)。其業(yè)務(wù)涵蓋針對(duì)包括硅、碳化硅、砷化鎵在內(nèi)多種材料的精密加工,生產(chǎn)并銷售從精細(xì)微加工到視覺(jué)檢測(cè)等一系列專業(yè)自動(dòng)化設(shè)備。
大族半導(dǎo)體成功承接“十三五”規(guī)劃中的科技部重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃重點(diǎn)專項(xiàng)“超短脈沖激光隱形切割系統(tǒng)及應(yīng)用”,以及“十四五”規(guī)劃中的科技部重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃重點(diǎn)專項(xiàng)“高品質(zhì)激光剝離與解鍵合裝備開(kāi)發(fā)及應(yīng)用示范”。此外,還負(fù)責(zé)深圳市技術(shù)攻關(guān)重點(diǎn)研發(fā)項(xiàng)目“面向5G通訊及新型顯示領(lǐng)域的高精度接近式光刻裝備”。與此同時(shí),今年大族半導(dǎo)體還榮獲“國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)”稱號(hào)。
大族半導(dǎo)體的全球占有率極高的全自動(dòng)激光開(kāi)槽機(jī)DSI-S-GV5242, 已入圍IC風(fēng)云榜“年度優(yōu)秀創(chuàng)新產(chǎn)品獎(jiǎng)”角逐名單。大族半導(dǎo)體明確指出,這款設(shè)備乃是我國(guó)首個(gè)用于前道黃光車間,尤其是3D堆疊先進(jìn)封裝開(kāi)槽設(shè)備,實(shí)現(xiàn)了對(duì)常見(jiàn)的2.5D芯片堆疊的技術(shù)突破,兼具存儲(chǔ)、邏輯、傳感器功能,進(jìn)一步推動(dòng)摩爾定律的發(fā)展進(jìn)程。
同樣為大族半導(dǎo)體獨(dú)有的全自動(dòng)激光解鍵合設(shè)備DSI-S-DB661,因其競(jìng)爭(zhēng)能力出色,已被納入IC風(fēng)云榜“年度技術(shù)突破獎(jiǎng)”候選名單。DSI-S-DB661主要應(yīng)用于集成電路inFO、2.5D/3D先進(jìn)封裝工藝中12英寸(兼容6/8英寸)玻璃載片和晶圓(厚度50~3000μm)的臨時(shí)鍵合對(duì)在常溫條件下的激光解鍵合、分離工藝,以及解鍵合后晶圓上Release碳灰、殘余鍵合膠清洗。目前,該設(shè)備已在盛合晶微、長(zhǎng)電紹興、華進(jìn)半導(dǎo)體、華為技術(shù)、云天半導(dǎo)體、華天科技、中國(guó)兵器、中電55所等知名公司穩(wěn)定運(yùn)行,積極協(xié)助客戶進(jìn)行封裝工藝研發(fā)工作,以更低成本提高互聯(lián)密度與速度。
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