蔡司三坐標(biāo)測量機(jī)即通常所說的cmm、三次元、三坐標(biāo)測量儀，是一種具有可作三個方向移動的探測器，可在三個相互垂直的導(dǎo)軌上移動，此探測器以接觸或非接觸等方式傳遞訊號，三個軸的位移測量系統(tǒng)(如光柵尺)經(jīng)數(shù)據(jù)處理器或計算機(jī)等計算出工件的各點(diǎn)(x，y，z)及各項(xiàng)功能測量。

蔡司三坐標(biāo)測量機(jī)以三維測量為主，可以測量形狀復(fù)雜的機(jī)械零件的尺寸、形位公差和自由曲面等。Mars三坐標(biāo)測量儀配備高精度的導(dǎo)軌、測頭和控制系統(tǒng)，并結(jié)合計算機(jī)程序來自動控制檢測流程，從而計算輸出測量結(jié)果，支持測頭更換架以及影像相機(jī)，同時支持精密轉(zhuǎn)臺等，能夠?qū)Ω鞣N零件和部件的尺寸、形狀及相互位置關(guān)系進(jìn)行檢測，也可以對軟材質(zhì)或復(fù)雜零件進(jìn)行光學(xué)掃描測量。

對于形狀復(fù)雜的機(jī)械零件，需要測量自由曲面的，cmm三次元測量儀更適合。