什么是壓電物鏡定位器？

壓電物鏡定位器是專門為物鏡聚焦顯微而設(shè)計的，采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向機構(gòu)設(shè)計，物鏡補償量較小，具有超高聚焦穩(wěn)定性，物鏡定位器裝入顯微檢測/測量或者觀測裝置，可帶動物鏡聚焦進行Z向運動，精度可達納米級別，能與多種高分辨率的顯微鏡配合使用。

大負載壓電物鏡定位器的應(yīng)用
大負載型壓電物鏡定位器是具有較大的承載能力，可達900g，甚至更高，可用于帶載較重型壓電物鏡定位器。

1、激光晶圓隱形切割

激光晶圓隱形切割是激光經(jīng)過透鏡聚焦，再通過壓電物鏡定位器精確調(diào)整焦點的位置，使焦點準確的定位在晶圓待切割部位，使被切割部位溫度急速升高，然后使之熔化或汽化。隨著激光與被切割材料的相對運動，在切割材料上形成切縫從而達到切割的目的。

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2、用于大幅提高普通顯微鏡的聚焦精度

可通過壓電控制器對壓電物鏡定位器微調(diào)的距離進行控制，壓電控制器的可變輸出電壓對應(yīng)壓電物鏡定位器的零至滿行程位移，兩者成線性關(guān)系，通過改變壓電控制器的可變輸出電壓的大小，即可控制壓電物鏡定位器的微調(diào)距離。相比普通的顯微鏡的手輪調(diào)節(jié)，聚焦精度更高可達納米級別。

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3、超分辨率顯微成像

顯微光學成像，是指透過樣品或從樣品反射回來的可見光，通過一個或多個透鏡后得到微小樣品的放大圖像的技術(shù)。超分辨率（SR）顯微鏡是一個描述新興光學顯微鏡的廣泛概念，盡管常規(guī)的光學顯微鏡最高可實現(xiàn)百納米的分辨能力，但這種超分辨率技術(shù)可實現(xiàn)數(shù)十納米的更高分辨率。SR顯微鏡利用特定熒光探針特性分離兩個緊密間隔的熒光源發(fā)出的光子，從而使它們可以分別成像，避免了衍射極限，從而可以觀察細胞在納米世界中的動態(tài)效果。

新的超分辨率技術(shù)，例如受激發(fā)射損耗顯微鏡，光激活定位顯微鏡和隨機光學重建顯微鏡，已將分辨率從100～200nm降至更低。納米級分辨率的壓電物鏡定位器非常適合這些應(yīng)用。顯微鏡和樣品架的對準要求精確、快速的移動?；诟叻直媛蕢弘娞沾沈?qū)動的壓電物鏡定位器可以提供獨特的超精密技術(shù)支持。

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4、激光光刻、光盤數(shù)據(jù)存儲

光刻過程是指放置在電動平臺上的光刻膠基片隨著電動平臺的轉(zhuǎn)動和平移，由聲光調(diào)制器控制光束的強弱對光刻膠進行變劑量曝光，通常電動平臺的定位精度達到微米或亞微米量級。然而由于慣性、靜摩擦、松動等所造成的電動平臺螺距誤差與偏移，將直接影響著系統(tǒng)的性能和光刻元件的質(zhì)量。芯明天壓電物鏡定位器以其納米級的精度、穩(wěn)定的性能、便捷的操控成為***設(shè)備中掃描運動平臺的理想選擇。

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5、白光干涉、3D端面檢測

白光干涉技術(shù)以可見光為光源，光源發(fā)出的白光通過干涉物鏡后在半透射光學平面反射一半光強，另一半光強透射后照射在量測物表面并反射再次進入干涉物鏡，與原光學平面的反射光產(chǎn)生干涉。搭配芯明天壓電物鏡定位器，準確性高可達納米解析度。

目前光纖端面檢測，常用的方式是光學干涉來進行測量。光學干涉就是根據(jù)相干光在空間相遇時，在某些區(qū)域始終增強，在某些區(qū)域始終減弱，形成穩(wěn)定的強弱分布。3D干涉儀系統(tǒng)就是根據(jù)這個原理設(shè)計的。CCD攝像頭上可以觀察到干涉條紋，芯明天壓電物鏡定位器可用于移動干涉物鏡以產(chǎn)生位相移動，CCD攝像頭測得的圖像經(jīng)圖像卡傳送到計算機進行解析處理，就可以得到需要的測量結(jié)果。每移動一步后由CCD攝像頭讀取干涉條紋，根據(jù)干涉條紋的分布計算出端面形狀。

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芯明天大負載壓電物鏡定位器

審核編輯黃宇