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Pinpoint系列MEMS陀螺儀的構造和性能

MEMS ? 來源:MEMS ? 2023-03-20 09:43 ? 次閱讀

據麥姆斯咨詢報道,Silicon Sensing Systems Ltd.(簡稱:Silicon Sensing)首席工程師Mark Marshall博士將在為期四天(3月28日至31日)的“IEEE Inertial international symposium on inertial sensors and systems”研討會上發表一篇關于該公司最小的Pinpoint系列MEMS陀螺儀的構造和性能的論文。

Mark Marshall博士將探討這款MEMS陀螺儀的工作原理,并詳細介紹其性能規格和Pinpoint結構,包括MEMS振動環的設計與制造。此外,還將概述該MEMS陀螺儀在平面和正交安裝中的性能范圍。

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Mark Marshall博士解釋說:“PinPoint是一種Coriolis振動陀螺儀,其大小只有您最小的指甲蓋大小(約5mm x 6mm),可在廣泛的運動傳感應用中提供強大的慣性性能優勢:從工業機器人到衛星控制,從自主車輛導航到運動跟蹤,從飛機姿態航向和參考系統(AHRS)到精準農業。該論文研究了Pinpoint如何以如此小的外形尺寸實現這種高性能。”

該論文還將闡述Pinpoint系列MEMS陀螺儀中的執行器和傳感器采用的PZT薄膜特性,并概述這給陀螺儀帶來的關鍵性能優勢。

Mark Marshall博士說道:“Pinpoint系列是慣性市場的核心產品,使用方式非常靈活,體積小巧、可靠且成本低。它們已經在全球許多市場上被使用,潛力是無限的,我們經常被邀請討論我們甚至沒有考慮過的新應用!”

Silicon Sensing是硅基MEMS陀螺儀、加速度計和慣性測量系統的市場領導者,專注于高性能、可靠性和經濟性慣性傳感器產品。該公司已向全球數千家客戶交付了超過2500萬顆MEMS傳感器,并且在慣性傳感領域擁有可追溯至100多年的傳統。如今所有的慣性傳感器和系統都是基于內部的專利設計,這些設計是在Silicon Sensing最先進的MEMS晶圓廠制造的。





審核編輯:劉清

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原文標題:Silicon Sensing將發布其最小的Pinpoint系列MEMS陀螺儀

文章出處:【微信號:MEMSensor,微信公眾號:MEMS】歡迎添加關注!文章轉載請注明出處。

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