盛美上海首臺(tái)前道ArF工藝涂膠顯影設(shè)備Ultra LITH順利出機(jī)
來源：盛美上海
近日盛美上海首臺(tái)具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的涂膠顯影Track設(shè)備Ultra LITH成功出機(jī)，順利向中國(guó)國(guó)內(nèi)客戶交付首臺(tái)前道ArF工藝涂膠顯影Track設(shè)備，該設(shè)備由盛美半導(dǎo)體設(shè)備(亞太)制造中心完成出貨，這是該公司提升其在涂膠和顯影領(lǐng)域內(nèi)專業(yè)技術(shù)的重要一步。
此外，盛美上海將于2023年推出i-line型號(hào)設(shè)備，并且公司已開始著手研發(fā)KrF型號(hào)設(shè)備。前道涂膠顯影Track設(shè)備Ultra LITH的出貨是盛美上海持續(xù)拓展產(chǎn)品系列的又一成果，公司致力于成為晶圓級(jí)的工藝解決方案平臺(tái)，旗下產(chǎn)品還包括單晶圓及槽式濕法清洗設(shè)備、電鍍?cè)O(shè)備、無(wú)應(yīng)力拋光設(shè)備、立式爐管設(shè)備，及PECVD設(shè)備。
審核編輯黃昊宇
聲明：本文內(nèi)容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網(wǎng)站授權(quán)轉(zhuǎn)載。文章觀點(diǎn)僅代表作者本人，不代表電子發(fā)燒友網(wǎng)立場(chǎng)。文章及其配圖僅供工程師學(xué)習(xí)之用，如有內(nèi)容侵權(quán)或者其他違規(guī)問題，請(qǐng)聯(lián)系本站處理。
舉報(bào)投訴
-
Track
+關(guān)注
關(guān)注
0文章
8瀏覽量
9821
發(fā)布評(píng)論請(qǐng)先 登錄
相關(guān)推薦
2025年中國(guó)顯影設(shè)備行業(yè)現(xiàn)狀與發(fā)展趨勢(shì)及前景預(yù)測(cè)
)、程序控制系統(tǒng)等部分組成。 在光刻工藝中，涂膠/顯影設(shè)備則是作為光刻機(jī)的輸入(曝光前光刻膠涂覆)和輸出(曝光后圖形的
宜科數(shù)智化I/O模塊驅(qū)動(dòng)汽車涂膠設(shè)備高效升級(jí)
。 ? ? ? 涂膠設(shè)備工藝復(fù)雜，需要精確控制涂膠過程中的各種參數(shù)，如溫度、速度、出膠量等，同時(shí)需要實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)
涂膠設(shè)備對(duì)接物聯(lián)網(wǎng)云平臺(tái)的解決方案
現(xiàn)場(chǎng)涂膠生產(chǎn)線上包括混膠機(jī)、涂膠機(jī)、灌膠機(jī)、注膠機(jī)、點(diǎn)膠機(jī)等多種設(shè)備，為電子、醫(yī)療、通信等
盛美臨港研發(fā)與制造中心首臺(tái)量測(cè)設(shè)備KLA-Tencor Surfscan SP7入駐
來源：盛美上海 熱烈慶祝盛美臨港研發(fā)與制造中心迎來里程碑時(shí)刻——首臺(tái)量測(cè)
盛美半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)制造中心投產(chǎn)
近日，盛美半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)與制造中心在上海市臨港新片區(qū)順利舉行了落成暨投產(chǎn)典禮。這一項(xiàng)目的順利投產(chǎn)
簡(jiǎn)述光刻工藝的三個(gè)主要步驟
“ 光刻作為半導(dǎo)體中的關(guān)鍵工藝，其中包括3大步驟的工藝：涂膠、曝光、顯影。三個(gè)步驟有一個(gè)異常，整個(gè)光刻工藝都需要返工處理，因此現(xiàn)場(chǎng)異常的處理
盛美上海推出新型面板級(jí)電鍍設(shè)備
盛美半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司，業(yè)界知名的半導(dǎo)體前道及先進(jìn)晶圓級(jí)封裝工藝解決方案提供商，近日
盛美上海推出Ultra C vac-p面板級(jí)先進(jìn)封裝負(fù)壓清洗設(shè)備
盛美半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司，作為半導(dǎo)體工藝解決方案領(lǐng)域的佼佼者，近日宣布了一項(xiàng)重大技術(shù)突破——成功推出
惠然微電子全自主研發(fā)半導(dǎo)體關(guān)鍵尺寸量測(cè)設(shè)備CD-SEM出機(jī)
在半導(dǎo)體制造的浩瀚領(lǐng)域中，每一步工序都至關(guān)重要。近日，惠然微電子傳來喜訊，公司成功研制并順利出機(jī)全自主研發(fā)的首臺(tái)半導(dǎo)體關(guān)鍵尺寸量測(cè)設(shè)備（CD
盛美上海與艾森股份攜手共創(chuàng)半導(dǎo)體行業(yè)新篇章
近日，半導(dǎo)體行業(yè)的兩大領(lǐng)軍企業(yè)——盛美上海與艾森股份宣布，在晶圓制造等關(guān)鍵領(lǐng)域展開深入的戰(zhàn)略合作，共同研發(fā)工藝材料與設(shè)備。這一合作標(biāo)志著雙方
盛美上海與艾森股份戰(zhàn)略攜手，共筑晶圓制造新篇章
來源：盛美上海 近日，盛美上海與艾森股份在晶圓制造等關(guān)鍵領(lǐng)域，積極展開
盛美上海起訴前研發(fā)人員蔣某某及江蘇芯夢(mèng)設(shè)備侵權(quán)
據(jù)集微網(wǎng)報(bào)道，2023年10月，盛美上海針對(duì)前研發(fā)人員蔣某某及其所在的江蘇芯夢(mèng)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司侵犯其商業(yè)秘密一事，向蘇州市中級(jí)人民法院提起訴訟，請(qǐng)求被告停止侵權(quán)并賠償經(jīng)濟(jì)損失。目前此
盛美上海2023年?duì)I收凈利雙增
盛美上海作為國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體清洗設(shè)備領(lǐng)域的領(lǐng)軍企業(yè)，近日發(fā)布的《2023年年度報(bào)告》展現(xiàn)了其強(qiáng)勁的發(fā)展勢(shì)頭和廣闊的市場(chǎng)前景。從報(bào)告中可以看出，盛
盛美上海2023年?duì)I收凈利雙增，在手訂單60多億，第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域取得新突破
?電子發(fā)燒友網(wǎng)報(bào)道（文/劉靜）近日，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體清洗設(shè)備龍頭盛美上海率先一步，發(fā)布《2023年年度報(bào)告》。業(yè)績(jī)報(bào)告顯示，盛
工商網(wǎng)監(jiān)
評(píng)論