由上海建工四建集團承建的臨港重裝備產業區F16-01地塊項目,舉行了鼎泰匠芯潔凈室交付ASML光刻機搬入儀式。這意味著,首臺ASML光刻機搬入,中國首座12英寸車規級功率半導體自動化晶圓制造中心即將投入生產;與此同時,ASML也通過實際行動表明了自己不放棄中國市場的態度! 為了遏制中國科技發展,美方不僅施壓荷蘭光刻機制造商阿斯麥(ASML)禁止向我國出售14nm及以下工藝的DUV光刻機,還一直試圖要求該公司禁止對華銷售部分舊款光刻機,以及所有制造芯片所需的主流技術。 要知道,目前全球只有ASML能夠生產先進的EUV光刻機,但ASML的光刻機匯集了世界高端技術的結晶,其中自然用到了很多含有美國設備的技術,所以ASML自由出貨被美方拿捏得死死的。 不過,現在傳來一則好消息,ASML針對自由出貨不愿意再妥協了——近日,由上海建工四建集團承建的臨港重裝備產業區F16-01地塊項目,舉行了鼎泰匠芯潔凈室交付ASML光刻機搬入儀式。 這意味著,首臺ASML光刻機搬入,中國首座12英寸車規級功率半導體自動化晶圓制造中心即將投入生產;與此同時,ASML也通過實際行動表明了自己不放棄中國市場的態度!
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據悉,建設包括FAB生產廠房(含潔凈室)、OS生產調度及研發大樓、CB綜合樓、WH倉庫、CUB動力站等大型群體工程。其中,FAB生產廠房作為本工程最大規模單體,建筑面積達104085.98平方米。 待該項目全面達到預期產能后,可實現年產能約36萬片12英寸功率器件(POWER MOS)晶圓片,主要生產MOSFET、GaN FET、SiC FET等功率器件產品。同時,還將同步推動建成芯片設計、5G智能硬件和AI/IOT模塊設計的研發總部,助力上海成為國際一流的半導體和5G產業創新高地。
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原文標題:首臺ASML光刻機搬入!中國首座12英寸車規級功率半導體晶圓廠將投產!
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發表于 03-05 11:26
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