高靈敏度、小型化的超聲探測(cè)器在諸多方面發(fā)揮著重要應(yīng)用，例如醫(yī)學(xué)診斷、光聲成像、無(wú)損檢測(cè)等。目前，商用的超聲波探測(cè)器主要采用壓電換能器，但為了實(shí)現(xiàn)較高的靈敏度，往往需要較大的尺寸，其傳感器的典型尺寸一般為毫米到厘米。近些年來(lái)，隨著微納光電技術(shù)的發(fā)展，在硅芯片上微加工制備得到的光學(xué)超聲波探測(cè)器可同時(shí)實(shí)現(xiàn)較高的靈敏度和空間分辨率。其中，微腔光力系統(tǒng)由于其高靈敏度、寬帶寬、低功耗和易于集成等優(yōu)越特性，引起越來(lái)越多的關(guān)注。由于微腔光力系統(tǒng)中的較強(qiáng)光力相互作用，微腔的機(jī)械位移可以通過(guò)光學(xué)共振信號(hào)來(lái)敏感讀出。由于機(jī)械共振增強(qiáng)了響應(yīng)，且光學(xué)共振可增強(qiáng)讀出靈敏度，因此微腔光力系統(tǒng)已被證實(shí)是位移、質(zhì)量、力、加速度、磁場(chǎng)和聲波等物理量的高靈敏探測(cè)理想平臺(tái)。

前期工作中，研究人員已在各種體系的光學(xué)微腔中實(shí)現(xiàn)超聲波/聲波的探測(cè)，例如二氧化硅微腔、聚合物微腔、硅微腔等。多數(shù)超聲波探測(cè)是在液體環(huán)境中實(shí)現(xiàn)的。而在空氣環(huán)境中，由于超聲波吸收損耗大，且聲源/空氣界面處的阻抗失配大，高靈敏度的超聲波探測(cè)依然頗具挑戰(zhàn)。前期工作中，空氣耦合的超聲波探測(cè)只在1 MHz以下頻段實(shí)現(xiàn)。空氣耦合的超聲波探測(cè)在一些特定場(chǎng)景中具有重要應(yīng)用，例如氣體光聲光譜和非接觸式超聲醫(yī)學(xué)成像等。

據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道，為了提高空氣耦合的超聲波探測(cè)靈敏度，并拓展探測(cè)頻率范圍，近日，中國(guó)科學(xué)院物理研究所/北京凝聚態(tài)物理國(guó)家研究中心研究人員使用微芯圓環(huán)腔演示了在MHz頻率范圍內(nèi)的空氣耦合高靈敏度超聲波探測(cè)。

在該工作中，研究人員通過(guò)光刻、氫氟酸腐蝕、氟化氙刻蝕、二氧化碳激光回流的微加工工藝，制備了帶有較細(xì)的硅基座的微芯圓環(huán)腔，從而減少來(lái)自襯底的機(jī)械運(yùn)動(dòng)的約束，獲得了在2.56 MHz的一階拍動(dòng)模式下約700的高機(jī)械品質(zhì)因子，同時(shí)光學(xué)品質(zhì)因子達(dá)到10?以上。憑借較高的光學(xué)和機(jī)械品質(zhì)因子，以及與超聲波具有較大空間重疊的2.56 MHz的一階拍動(dòng)模式，他們?cè)跈C(jī)械模式附近0.6 MHz的頻率范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)了僅受熱噪聲限制的靈敏度，在0.25-3.2 MHz的頻率范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)了46 μPa/√Hz - 10 mPa/√Hz的靈敏度。此外，他們?cè)跈C(jī)械共振頻率下利用超聲波驅(qū)動(dòng)傳感器時(shí)觀察到了二階和三階機(jī)械邊帶，通過(guò)測(cè)量不同超聲波壓強(qiáng)(P)下的信噪比(SNR)，發(fā)現(xiàn)一階、二階和三階機(jī)械邊帶的分別與P、P2和P3大致成正比，三個(gè)機(jī)械邊帶上的測(cè)量強(qiáng)度與理論結(jié)果一致。這種非線性轉(zhuǎn)換提供了一種擴(kuò)展位移傳感動(dòng)態(tài)范圍的方法。

圖1 (a) 微芯圓環(huán)腔的光學(xué)顯微鏡圖。(b) 模擬的回音壁模式的基模光場(chǎng)分布。(c) 1550 nm附近微腔的透過(guò)率譜。(d) 超聲波探測(cè)實(shí)驗(yàn)裝置的示意圖。

圖2 (a) 微腔超聲波探測(cè)器的噪聲功率譜（黑色實(shí)線）與在2.56 MHz頻率處施加了超聲波信號(hào)的響應(yīng)譜（綠色實(shí)線），虛線為計(jì)算得到的理論噪聲。(b) 微腔超聲波探測(cè)器的系統(tǒng)響應(yīng)，即微腔對(duì)不同頻率的超聲波的響應(yīng)。(c) 微腔超聲波探測(cè)器的壓強(qiáng)（左軸）和力（右軸）靈敏度譜。

該研究演示了一種基于微芯圓環(huán)腔的空氣耦合高靈敏度MHz頻段超聲波探測(cè)方案，實(shí)現(xiàn)了寬帶、高靈敏度超聲檢測(cè)。這項(xiàng)工作拓寬了使用微腔光力系統(tǒng)進(jìn)行空氣耦合的超聲波探測(cè)的頻率范圍，并獲得了較大頻率范圍的熱噪聲主導(dǎo)區(qū)域。