最近,功率半導體,乃至整個半導體行業的一件大事是:電氣與電子工程師協會(IEEE)將IEEE里程碑獎(IEEE Milestones)頒發給了意法半導體,以表彰其在超級集成硅柵半導體工藝技術方面的開創性貢獻,具體標的就是單片多硅技術(Bipolar-CMOS-DMOS,BCD)開拓性研究成果和商業化應用。
重量獎項意義非同小可
5月中旬,在意法半導體Agrate工廠舉行的現場/線上揭牌儀式上,IEEE意大利分部人道主義活動委員會協調員兼前任秘書Giambattista Gruosso和意法半導體總裁兼首席執行官Jean-Marc Chery共同揭開了IEEE里程碑牌匾。
牌匾上的內容如下:
IEEE里程碑
單片多硅技術,1985年
SGS(現為意法半導體)率先采用單片集成雙極型晶體管、CMOS晶體管和DMOS晶體管(BCD)的超級集成硅柵極工藝,解決復雜的、有大功率需求的應用設計難題。首個BCD超級集成電路L6202可以控制最高60V-5A的功率,開關頻率300kHz。隨后的汽車、計算機和工業自動化廣泛采用了這項工藝技術,讓芯片設計人員能夠靈活、可靠地單片集成功率、模擬和數字信號處理電路。
意法半導體總裁、首席執行官
Jean-Marc Chery表示:
80年代初,智能電源還是一個獨樹一幟的概念,我們有遠見和眼光的天才技術團隊認識到智能電源的價值,創造了一項非凡成就,將雙極晶體管的高精度功能與CMOS數字控制和DMOS的高功率整合成一顆芯片。
時至今日,過去了35年,經歷了9次技術迭代,我們生產了500萬片晶圓,售出了400億顆芯片。去年一年,我們就售出近30億顆芯片。IEEE里程碑牌匾意味著ST的BCD技術將被寫進推進人類發展的科技史冊,對此,我們的自豪無以言表。
遠不止這些應用
從推出BCD工藝至今,30多年來,其產品已涵蓋智能駕駛(引擎管理ABS、氣囊、ESP、汽車收音機、車輛電氣化、充電樁)、智慧工業(電機控制、照明、工業顯示、電力線調制解調器、生物醫學應用、超聲心動圖),以及智能家居和智能設備(音頻放大器、無線充電器、電源、AMOLED顯示器、打印機、硬盤驅動器)等數不盡的終端應用,讓整個電子行業經歷了顛覆性變遷。
BCD技術的起源
今天的ST,已是一個擁有46,000名半導體技術的創造者和創新者,掌握半導體供應鏈和最先進的制造設備的頭部企業。作為一家獨立半導體設備制造商,ST與超過十萬客戶、數千個合作伙伴一起研發產品和解決方案,共同構建生態系統,幫助他們更好地應對各種挑戰和新機遇,滿足世界對可持續發展的更高需求。ST的技術讓人們的出行更智能,電力和能源管理更高效,物聯網和5G技術應用更廣泛。
回溯到上世紀八十年代初期,半導體行業已經歷了50年代的雙極(bipolar)、60年代的CMOS(互補金屬氧化物半導體)和70年代的DMOS(雙擴散金屬氧化物半導體)的三大技術創新。不過這些技術都是各自為戰,只服務于自己的一畝三分地。
雙極技術非常適合模擬功能的半導體器件,一般用于功率稍大的電路,具有截止頻率高、驅動能力大、速度快、噪聲低等優點;但集成度低、體積大,功耗也大;
CMOS技術制造的數字功能半導體器件具有集成度高、功耗低、輸入阻抗高等優點,驅動邏輯門能力比其他器件強很多;
DMOS技術適合功率功能的器件,是目前應用最廣泛、最具代表性的功率器件,特別是DMOS單元組成的半導體場效應晶體管(FET)具有高電流驅動能力、低導通電阻和高擊穿電壓等特性。
能不能把三種用于不同應用的半導體技術整合在一起,發揮更大的作用呢?
1984年,ST(當時還是SGS Microelettronica)的工程師開始尋找解決各種電子應用難題的可靠方法。
他們的目標很多:
創造一種在一顆芯片上集成異質晶體管和二極管的技術,能夠提供數百瓦功率;
用邏輯控制功率,實現方式需要遵循摩爾定律;
最大限度地降低功耗,從而消除散熱器;
支持精確的模擬功能;以可靠的實現方式滿足廣泛的應用需求。
1985年以后,他們的研究成果開始逐步浮出水面。
“三明治”變身饕餮盛宴
ST的革命性的想法是做出一個半導體工藝的“三明治”:CMOS、DMOS和雙極三者為一,將3個已經很先進的工藝融合在一起,這就是BCD技術。
BCD是一種硅芯片上實現的多種技術。將三種技術組合于一個單工藝平臺,實現了四大功能:
在單片中集成雙極工藝高精度模擬晶體管、CMOS工藝高性能數字開關晶體管和高功率DMOS晶體管,更適合復雜的、有大功率需求的應用。這樣的器件在電源管理中融入了數據轉換、處理和執行功能。其打造的典型BCD產品可以提供所有關鍵功能,滿足廣泛的應用。制造方面形成了三大工藝,以滿足不同電壓范圍應用的要求。
優化的技術平臺為應用提供了最優的解決方案,BCD的持續創新保持了先進性能,新的功效更高的架構不斷涌現,包括新技術模塊、更好的光刻微影工藝、新興的存儲解決方案。
第一次成功證明
1985年,研發活動最終誕生了一種新的集成硅柵技術——BCD。在BCD研發過程中,研究人員克服了諸多挑戰,實現了突破性創新。他們用L6202芯片第一次證明了集成芯片的先進拓撲結構,可以將功率MOS連接在沒有散熱器的封裝中。
這種新的集成硅柵的多功率BCD在工藝架構方面對占用芯片面積最大的功率部分進行了優化,利用DMOS器件得到了許多其他電學和結構特性。由于高效硅柵隔離式DMOS晶體管的所有接點都在上面,可隨意將更多DMOS晶體管連接在一個緊湊的芯片上。而且,功率DMOS在直流條件下沒有驅動功耗,也沒有二次擊穿限制。
使用DMOS元件作為功率器件,可以在不消耗高功耗的情況下確保輸出功率,克服了阻礙功率開關小型化的大電流發熱問題。由于DMOS功率級有內續流二極管,因此不需要外部分立二極管,節省了元件。
創新遠不止這些。用硅取代金屬柵,增加了具有高精度模擬性能的雙極晶體管和功率MOS,結構簡單,成本更低,應用范圍更廣。器件兼容CMOS硅柵器件,開關速度非常快,保證高密度信號電路的安全性。
按照摩爾定律,將復雜的CMOS邏輯與現代微控制器集成在一起。一個器件實現各種功能,減少了電磁干擾,提高了器件可靠性。
這種模塊化技術允許添加更多非易失性存儲器、電流隔離、擴展kV功率范圍。集成電源管理、數據轉換、處理和驅動等功能有助于解決許多不同應用的難題。
憑借硅柵多功率BCD,ST采用自對準硅柵實現了符合摩爾定律的邏輯擴展。與傳統方法相比,采用新發明的硅柵多功率BCD技術的首個DC和步進電機全橋驅動器L6202非常先進。其工作電壓60V,電流1.5A時功耗僅為1.5W,開關頻率300kHz。該器件采用標準DIP封裝,在成本和緊湊性(無散熱片)方面具有很大優勢,達到了所有設計目標。這一新的可靠工藝技術讓芯片設計人員能夠在單個芯片上靈活、可靠地集成功率、模擬和數字信號處理電路。
值得一提的是,經過35年的生產,L6202衍生出了許多產品,至今仍在生產,名稱相同。
憑借其在“超越摩爾定律”半導體技術領域的多年積累,ST擁有為市場提供最佳BCD方案的技術實力。通過集成整合一系列創新技術的DMOS架構及世界一流晶圓廠的產能優勢,ST的BCD能提供同類最佳的性能和最先進工藝節點。
多年來,BCD技術已經證實了其在實現產品差異化方面的靈活性,電壓能力已擴展到1200V,兼容各種NVM解決方案、精密無源元件,最近甚至集成了電流隔離(6kV),拓寬了工業、蜂窩、汽車電氣化等應用領域。
IEEE里程碑牌匾放在哪里?
ST獲得的IEEE里程碑牌匾共有兩塊,分別放置在ST在意大利米蘭市近郊兩個曾經承擔多硅柵多功率BCD開發工作的Agrate工廠和Castelletto(卡斯特)工廠的大門口。據介紹,牌匾位置有全年24小時安全攝像頭監控和安保人員值守,離公共道路不遠。ST的員工、訪客和客戶每天都會經過這里進入ST公司,游客可以隨意觀看牌匾或拍照。
這里是ST超過55年以上商業活動的發源地,見證了大規模生產BCD器件的高潮。有機會去意大利米蘭,千萬不要錯過這一未來的網紅打卡地!
IEEE里程碑計劃頒發了多少牌匾?
IEEE是全球最大的致力于推動造福人類的技術發展的技術專業組織。IEEE的出版物、會議、技術標準以及職業和教育活動被廣泛引用,是航空航天系統、計算機和電信、生物醫學工程、電力和消費電子等各種領域可信賴的聲音。
1983年,IEEE創立了里程碑計劃,旨在表彰在獨特的產品、服務、有影響力的論文和專利中造福人類的技術創新和卓越成就。每一個里程碑獎都代表了一項至少是25年前在IEEE所代表的技術領域產生的、至少具有地區影響力的重要技術成就。目前,IEEE在全球范圍內批準并頒發了大約220塊IEEE里程碑牌匾。
原文標題:當之無愧的殊榮,ST BCD技術何以贏得IEEE里程碑獎
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