2021年3月3日晚上，中芯國際（SMIC）在港交所發表公告稱，2021年2月1日已經與阿斯麥（ASML）上海簽訂了經修訂和重述的阿斯麥批量采購協議，采購協議的期限從原來的2018年1月1日至2020年12月31日延長至從2018年1月1日至2021年12月31日。公告顯示該訂單的總價約為12億美元，中芯國際將在發出訂單后先首期付款30%，余款在產品收到后支付。

阿斯麥上海是ASML Holding N.V.的附屬公司之一，而荷蘭公司ASML是全球最大的光刻機制造商，而光刻機是制造芯片的關鍵設備。ASML在45nm以下工藝制程的光刻機市場占據了85%的份額，在EUV（極紫外光刻技術）光刻機領域則處于絕對壟斷地位，市場占有率100%。EUV光刻機能推進5nm/7nm工藝節點，而DUV（深紫外線光科技術）光刻機可以擴充中芯國際的產能，例如可以滿足近期不斷增長的8英寸晶圓的生產需要。今年成熟工藝制程需求量比較大，也是中芯國際搶占市場的機會。

據相關媒體近期的報道，為中芯國際提供14nm及以上工藝制程所需原料和設備的美國相關廠商，已獲得美國的許可證。目前許可證以10nm工藝為分界線，14nm及以上工藝制程相關產品可以獲得許可，10nm及以下工藝節點則會被限制。簡單來說，現階段中芯國際在ASML那里，除了EUV光刻機，基本上DUV光刻機都能買。
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