近日,上海市公布了2021年重大建設項目清單,中芯國際的12英寸芯片SN1項目入選,目前處于在建狀態。
中芯國際的12英寸芯片SN1項目由中芯國際旗下的中芯南方負責,總投資額90.59億美元,其中生產設備購置和安裝費就有73.30億美元,規劃月產能3.5萬片晶圓。
這是中國內地第一條FinFET工藝生產線,也是中芯國際14nm及以下先進工藝研發和量產的主要承載平臺,未來覆蓋工藝節點可直達7nm。
中芯國際聯席CEO梁孟松此前曾披露,中芯國際的28nm、14nm、12nm、N+1等技術均已進入規模量產,7nm技術開發已經完成,今年4月可以進入風險量產,5nm、3nm最關鍵也是最艱巨的8大項技術也已經有序展開,只等EUV極紫外光刻機到來,就可以進入全面開發階段。
去年7月,中芯國際正式登陸科創板,發行總股本為71.3642億股,上市募集資金中40%用于12英寸芯片SN1項目,20%作為先進及成熟工藝研發項目的儲備資金,40%作為補充流動資金。
中芯國際12英寸芯片SN1、SN2廠房建設項目位于上海浦東新區張江高科技園區,目前的主要建設內容包括SN1生產廠房、CU8動力車間、SO8生產調度及研發樓三個大的單體建筑物,以及一些配套設施。
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