我國計(jì)劃把大力支持發(fā)展的第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，寫入正在制定中的“十四五”規(guī)劃，在教育、科研、開發(fā)、融資、應(yīng)用等各個(gè)方面，大力支持發(fā)展第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)。在這個(gè)背景下，深圳市納設(shè)智能裝備有限公司（簡稱“納設(shè)智能”）近日完成了數(shù)千萬元天使輪融資，由東方富海管理的中小企業(yè)發(fā)展基金（深圳南山有限合伙）及老股東深圳嘉遠(yuǎn)資本聯(lián)合投資。本輪融資資金將用于第三代半導(dǎo)體碳化硅化學(xué)氣相沉積外延設(shè)備（簡稱“碳化硅外延爐”）的產(chǎn)品研發(fā)、工藝驗(yàn)證、市場推廣以及技術(shù)團(tuán)隊(duì)擴(kuò)建。

納設(shè)智能成立于2018年10月，坐落在深圳市光明區(qū)留學(xué)人員創(chuàng)業(yè)園，近期已通過國家高新技術(shù)企業(yè)初步認(rèn)定。公司擁有一支包括頂級科學(xué)家在內(nèi)的研發(fā)團(tuán)隊(duì)，致力于第三代半導(dǎo)體等先進(jìn)材料領(lǐng)域的高端裝備制造。

納設(shè)智能專注于碳化硅產(chǎn)業(yè)鏈里關(guān)鍵的碳化硅外延爐，此設(shè)備的關(guān)鍵難點(diǎn)就是溫度高，需要達(dá)到接近1700℃, 需要的反應(yīng)室材料、溫度控制、氣體控制、防污染、工藝等都是面臨的挑戰(zhàn)，而納設(shè)智能團(tuán)隊(duì)已掌握相應(yīng)的自主創(chuàng)新的技術(shù)解決方案，可以實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化。公司研發(fā)團(tuán)隊(duì)的主要行業(yè)經(jīng)驗(yàn)包括MOCVD設(shè)備、刻蝕設(shè)備以及納米材料等多款半導(dǎo)體設(shè)備和工藝開發(fā)及市場推廣，具有深厚的技術(shù)積累和豐富的行業(yè)資源；在先進(jìn)設(shè)備的產(chǎn)品化和市場化推廣方面擁有平均十年以上的實(shí)戰(zhàn)經(jīng)驗(yàn)。2019年，團(tuán)隊(duì)成立僅一年便成功完成4臺設(shè)備的設(shè)計(jì)組裝及調(diào)試，其中包括中國首臺開放式卷對卷石墨烯化學(xué)氣相沉積設(shè)備，實(shí)現(xiàn)了開放條件下，24小時(shí)連續(xù)不間斷生產(chǎn)石墨烯、碳納米管等先進(jìn)薄膜材料，該技術(shù)實(shí)現(xiàn)了全球最低CVD石墨烯薄膜的生產(chǎn)成本；另外也銷售了三臺科研級CVD設(shè)備。

本輪融資資金將支持納設(shè)智能的技術(shù)團(tuán)隊(duì)實(shí)現(xiàn)第三代半導(dǎo)體碳化硅高溫化學(xué)氣相沉積外延設(shè)備的高質(zhì)量產(chǎn)業(yè)化，以滿足第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)規(guī)模爆發(fā)式增長和技術(shù)升級自主可控的重大需求，助力攻關(guān)新材料先進(jìn)裝備的核心技術(shù)難點(diǎn)，研制國內(nèi)領(lǐng)先世界一流的碳化硅外延設(shè)備，實(shí)現(xiàn)下游產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。同時(shí)，納設(shè)智能也在不斷擴(kuò)大團(tuán)隊(duì)規(guī)模，吸納培養(yǎng)更多的半導(dǎo)體專業(yè)技術(shù)研發(fā)人員，打造一流的人才聚集地。

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