根據韓國媒體《BusinessKorea》的報道，日前三星電子副董事長李在镕前往荷蘭拜訪光刻機大廠ASML，其目的就是希望ASML的高層能答應提早交付三星已經同意購買的極紫外光光刻設備（EUV）。

報道進一步指出，目前三星極需要透過EUV光刻設備來優化旗下晶圓代工業務的先進制程，用以在市場上爭取客戶訂單，而進一步拉近與晶圓代工龍頭臺積電的差距。目前，ASML是當前全球唯一生產EUV設備的廠商，而EUV設備對于在晶圓代工中的先進制程，尤其是在當前最先進的5納米或未來更進一步的半導體制程中至關重要。而三星目前極需要將這些EUV設備安裝于三星正在建設的韓國平澤2號工廠的新晶圓代工產線，以及正在擴建的韓國華城V1產線上。

據了解，三星電子已經于2020年5月份，在韓國平澤的2號工廠中開始設置晶圓代工的產線，該公司計劃在該條新晶圓代工產線上投資約10萬億韓元（約88億美元），并預計于2021年下半年開始全面量產。至于，在華城工廠內的V1產線，則已經于2019年投入運營，該產線專門以EUV技術來協助量產7納米制程的芯片。目前該產線正在擴產中，預計未來將投入5納米和5納米以下更先進制程的芯片生產。對此，三星也計劃到2020年底，將華城V1產線的晶圓月產能提升至2萬片的規模。

就因為三星加緊對晶圓代工的先進制程擴產，因此確保EUV光刻設備能夠確實裝機，是目前三星最緊迫的任務。如果EUV設備的裝機時程被延后，則三星希望藉由EUV設備來優化先進制程，進一步獲得全球半導體客戶青睞而取得訂單的機會，則可能會拱手讓給了競爭對手臺積電。

以目前來說，三星目前已經開始營運的有10部EUV設備，另外還已經在2020年向ASML下單訂購了約20部的EUV。但反觀臺積電則更是來勢洶洶，目前不僅已經營運20部以上的EUV設備，還宣布到2022年時將再購買60部EUV設備。這情況也讓李在镕更加心急，不得不飛往荷蘭與ASML高層進行協商。
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